[实用新型]一种量子芯片真空保藏装置

权利要求书

1.一种量子芯片真空保藏装置，其特征在于，包括：

保藏组件，所述保藏组件至少有两组，其中，所述保藏组件包括用于保藏量子芯片的密封盒、第三阀门、第四阀门，所述第四阀门通过抽气管路与所述密封盒连通，所述第三阀门与所述抽气管路连通；

第一抽气元件，所述第一抽气元件具有第一进气口和第一出气口，所述第一进气口与所述第四阀门连通；

第二抽气元件，所述第二抽气元件具有第二进气口和第二出气口，所述第二进气口与所述第一出气口连通，且所述第二进气口与所述第三阀门连通，所述第二出气口与外部环境相通。

2.如权利要求1所述的量子芯片真空保藏装置，其特征在于，所述第二进气口与所述第一出气口通过第五阀门连通。

3.如权利要求2所述的量子芯片真空保藏装置，其特征在于，所述第五阀门采用单向阀，所述第一出气口排出的气体可以通过单向阀进入所述第二进气口。

4.如权利要求1所述的量子芯片真空保藏装置，其特征在于，所述第一抽气元件包括分子泵，所述第二抽气元件包括机械真空泵，所述第二进气口通过前级管路与所述第三阀门连通。

5.如权利要求4所述的量子芯片真空保藏装置，其特征在于，所述前级管路上安装有第二真空计。

6.如权利要求1所述的量子芯片真空保藏装置，其特征在于，还包括真空腔，所述真空腔设于所述第一进气口与所述第四阀门之间，所述真空腔分别与第一进气口、第四阀门连通。

7.如权利要求6所述的量子芯片真空保藏装置，其特征在于，所述真空腔上安装有第一真空计。

8.如权利要求1－7任一项所述的量子芯片真空保藏装置，其特征在于，沿气体流动方向，所述抽气管路上依次安装有第一阀门、第二阀门。

9.如权利要求8所述的量子芯片真空保藏装置，其特征在于，还包括用于容纳所述密封盒的杜瓦罐，所述杜瓦罐内加注有制冷剂。

10.如权利要求8所述的量子芯片真空保藏装置，其特征在于，所述密封盒包括可拆卸的盒盖与盒身，所述盒盖与盒身密封连接。