[实用新型]一种量子芯片真空保藏装置

说明书

本申请公开了一种量子芯片真空保藏装置，包括保藏组件，所述保藏组件至少有两组，其中，所述保藏组件包括用于保藏量子芯片的密封盒、第三阀门、第四阀门，所述第四阀门通过抽气管路与所述密封盒连通，所述第三阀门与所述抽气管路连通；第一抽气元件，所述第一抽气元件具有第一进气口和第一出气口，所述第一进气口与所述第四阀门连通；第二抽气元件，所述第二抽气元件具有第二进气口和第二出气口，所述第二进气口与所述第一出气口连通，且所述第二进气口与所述第三阀门连通。本申请中，通过设置多组保藏组件，能够将多个量子芯片按照实际需求分开存放，从而防止对其他保藏组件中的量子芯片带来负面影响，以实现各组保藏组件独立工作的功能。

技术领域

本申请属于量子计算技术领域，特别是一种量子芯片真空保藏装置。

背景技术

量子计算机是一类遵循量子力学规律进行高速数学和逻辑运算、存储及处理量子信息的物理装置。

量子芯片是量子计算机的核心部件，量子芯片的实现有多种物理体系，如超导体系、半导体量子点、离子阱、金刚石空位、拓扑量子、光子等。其中，超导体系是目前的热门研究方向，超导量子芯片是在以硅片或蓝宝石等材质的衬底上，蒸镀形成超导金属层，再采用曝光、显影、刻蚀等工艺在超导金属层上制备量子电路以及量子器件，从而获得具有量子信息处理功能的量子芯片。

现有技术中，量子芯片在存储时，为了避免量子芯片表面的超导层在空气中氧化，可将多个量子芯片置于真空保藏装置内储存，然而现有的真空保藏装置在取放一部分量子芯片时，不可避免地会导致剩余的量子芯片与空气相接处，对剩余的量子芯片带来负面影响。

需要说明的是，公开于本申请背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本申请一般背景技术的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。

实用新型内容

本申请的目的是提供一种量子芯片真空保藏装置，以解决现有技术中的不足。

本申请的一个实施例提供了一种量子芯片真空保藏装置，包括：

保藏组件，所述保藏组件至少有两组，其中，所述保藏组件包括用于保藏量子芯片的密封盒、第三阀门、第四阀门，所述第四阀门通过抽气管路与所述密封盒连通，所述第三阀门与所述抽气管路连通；

第一抽气元件，所述第一抽气元件具有第一进气口和第一出气口，所述第一进气口与所述第四阀门连通；

第二抽气元件，所述第二抽气元件具有第二进气口和第二出气口，所述第二进气口与所述第一出气口连通，且所述第二进气口与所述第三阀门连通，所述第二出气口与外部环境相通。

如上所述的量子芯片真空保藏装置，其中，所述第二进气口与所述第一出气口通过第五阀门连通。

如上所述的量子芯片真空保藏装置，其中，所述第五阀门采用单向阀，所述第一出气口排出的气体可以通过单向阀进入所述第二进气口。

如上所述的量子芯片真空保藏装置，其中，所述第一抽气元件包括分子泵，所述第二抽气元件包括机械真空泵，所述第二进气口通过前级管路与所述第三阀门连通。

如上所述的量子芯片真空保藏装置，其中，所述前级管路上安装有第二真空计。

如上所述的量子芯片真空保藏装置，其中，还包括真空腔，所述真空腔设于所述第一进气口与所述第四阀门之间，所述真空腔分别与第一进气口、第四阀门连通。

如上所述的量子芯片真空保藏装置，其中，所述真空腔上安装有第一真空计。

如上所述的量子芯片真空保藏装置，其中，沿气体流动方向，所述抽气管路上依次安装有第一阀门、第二阀门。

如上所述的量子芯片真空保藏装置，其中，还包括用于容纳所述密封盒的杜瓦罐，所述杜瓦罐内加注有制冷剂。