[实用新型]一种匀胶显影机的晶圆冷却装置

权利要求书

1.一种匀胶显影机的晶圆冷却装置，包括有密封室(1)和冷却室(2)，密封室(1)内通过滑槽(73)滑动式连接冷却室(2)，其特征在于，还包括有晶圆托盘(3)、循环水机构(4)、输液管(6)、连接头(11)、导流板(61)和辅助装料机构(7)，冷却室(2)有若干分层，冷却室(2)底部设有循环水机构(4)，冷却室(2)内固接晶圆托盘(3)，冷却室(2)左右两侧设置辅助装料机构(7)，冷却室(2)侧壁内排布输液管(6)，输液管(6)穿出冷却室(2)侧壁与导流板(61)通过连接头(11)连接，且输液管(6)的输入端和输出端均和循环水机构(4)连接。

2.根据权利要求1所述的一种匀胶显影机的晶圆冷却装置，其特征在于，所述循环水机构(4)还包括有防护板(41)和水泵(5)，冷却室(2)底层设有储水室，储水室内固接隔板(8)，隔板(8)的一侧安装水泵(5)，输液管(6)的输入端与水泵(5)的输出端连接，输液管(6)的输出端位于隔板(8)上方且贯穿固接，储水室通过防护板(41)密封固接。

3.根据权利要求1所述的一种匀胶显影机的晶圆冷却装置，其特征在于，所述辅助装料机构(7)还包括有托板(21)、电动滑轨(70)、滑杆(71)和限位板(72)，密封室(1)顶部两侧均固接限位板(72)，限位板(72)与密封室(1)底部共同均固接滑杆(71)，滑杆(71)上设置电动滑轨(70)，冷却室(2)底部固接托板(21)，电动滑轨(70)与托板(21)固接。

4.根据权利要求1所述的一种匀胶显影机的晶圆冷却装置，其特征在于，还包括有灯板(9)和温度传感器(91)，晶圆托盘(3)上设置温度传感器(91)，密封室(1)外侧两侧安装灯板(9)，温度传感器(91)和灯板(9)电连接。

5.根据权利要求1所述的一种匀胶显影机的晶圆冷却装置，其特征在于，还包括有观察玻璃(10)，密封室(1)前侧设置观察玻璃(10)。

6.根据权利要求4所述的一种匀胶显影机的晶圆冷却装置，其特征在于，所述灯板(9)分段式设计，每段分别与对应位置处的温度传感器(91)电连接。