[实用新型]一种匀胶显影机的晶圆冷却装置

说明书

本实用新型涉及一种冷却装置，尤其涉及一种匀胶显影机的晶圆冷却装置。提供一种能够提升效率、冷却效果好的匀胶显影机的晶圆冷却装置。一种匀胶显影机的晶圆冷却装置，包括有密封室、冷却室、晶圆托盘、循环水机构、输液管、辅助装料机构和循环水机构等；密封室内通过滑槽滑动式连接冷却室，冷却室有若干分层，冷却室底部设有循环水机构，冷却室内固接晶圆托盘，冷却室左右两侧设置辅助装料机构，冷却室侧壁内排布输液管。在输液管和循环水机构的作用下，冷却室能够放置多片晶圆同时进行降温散热，通过热传导既能够快速的将晶圆热量传递走，又能够不损坏晶圆达到有效的降温。

技术领域

本实用新型涉及一种冷却装置，尤其涉及一种匀胶显影机的晶圆冷却装置。

背景技术

匀胶显影机是完成除曝光以外的所有光刻工艺的设备，包括光刻材料的涂布、烘烤、显影、晶圆背面的清洗以及用于浸没式工艺的晶圆表面的去离子水冲洗等，晶圆在光刻完成后，对光刻后留下的痕迹进行保留则需要使用显影机，将光刻胶加热取下后需要对晶圆进行冷却降温。

根据公开号为CN207542215U的专利文件中，公开了一种晶圆冷却装置，其通过“腔体、均流板、喷嘴、分隔层和透气性填充物”部件配合，解决了“即使冷却装置腔体内设置有均流板，也难以避免喷气气流不均现象”，但该专利只有冷却室，而每个冷却室内都只有一个冷盘，在冷却过程中，冷却室不仅占用面积大，一次也只有一个晶圆冷却，冷却效率较低，并且若是多个放置容易对晶圆造成碰撞损坏提高不良率。

针对上述问题，我们设计一种能够提升效率、冷却效果好的匀胶显影机的晶圆冷却装置。

实用新型内容

本实用新型为了克服现有的匀胶显影机冷却效率较低的缺点，本实用新型要解决的技术问题是提供一种能够提升效率、冷却效果好的匀胶显影机的晶圆冷却装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了这样一种匀胶显影机的晶圆冷却装置，包括有密封室、冷却室、晶圆托盘、循环水机构、输液管、连接头、导流板和辅助装料机构，密封室内通过滑槽滑动式连接冷却室，冷却室有若干分层，冷却室底部设有循环水机构，冷却室内固接晶圆托盘，冷却室左右两侧设置辅助装料机构，冷却室侧壁内排布输液管，输液管穿出冷却室侧壁与导流板通过连接头连接，且输液管的输入端和输出端均和循环水机构连接。

优选地，所述循环水机构还包括有防护板和水泵，冷却室底层设有储水室，储水室内固接隔板，隔板的一侧安装水泵，输液管的输入端与水泵的输出端连接，输液管的输出端位于隔板上方且贯穿固接，储水室通过防护板密封固接。

优选地，所述辅助装料机构还包括有托板、电动滑轨、滑杆和限位板，密封室顶部两侧均固接限位板，限位板与密封室底部共同均固接滑杆，滑杆上设置电动滑轨，冷却室底部固接托板，电动滑轨与托板固接。

优选地，还包括有灯板和温度传感器，晶圆托盘上设置温度传感器，密封室外侧两侧安装灯板，温度传感器和灯板电连接。

优选地，还包括有观察玻璃，密封室前侧设置观察玻璃。

优选地，所述灯板分段式设计，每段分别与对应位置处的温度传感器电连接。

本实用新型的有益效果为：

在输液管和循环水机构的作用下，冷却室能够放置多片晶圆同时进行降温散热，通过热传导既能够快速的将晶圆热量传递走，又能够不损坏晶圆达到有效的降温。

在温度传感器的作用下，检测到晶圆小于温度阈值后，灯板亮起，以此提示人们晶圆已经冷却到指定温度范围内。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图。

图2为本实用新型的冷却室，输液管等零部件部分立体结构示意图。

图3为本实用新型的电动滑轨、滑槽等零部件部分立体结构示意图。