[实用新型]一种真空阀门

说明书

本实用新型涉及一种阀门，尤其涉及一种真空阀门。一种真空阀门，其特征在于，包括：阀门腔体、阀板组件和气缸装置；所述阀门腔体包括第一腔体和第二腔体；所述第一腔体和所述第二腔体气密连接；所述第一腔体包括第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁和第四侧壁；所述第一侧壁、所述第二侧壁、所述第三侧壁和所述第四侧壁围成四边形框体；所述第一侧壁上开设有阀口；所述第一腔体的底部由第一底部封闭，与所述第一底部相对的另一侧与所述第二腔体的一侧气密连接；所述第二腔体的另一侧设有气缸装置；本实用新型通过利用密封板与支撑板联合使用，并通过连杆装置浮动连接，从而达到将不同腔室气密隔离的功能。

技术领域

本实用新型涉及一种阀门，尤其涉及一种真空阀门。

背景技术

真空镀膜技术初现于20世纪30年代，四五十年代开始出现工业应用，工业化大规模生产开始于20世纪80年代，在电子、宇航、包装、装潢、烫金印刷等工业中取得广泛的应用。真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术，是表面工程技术领域的重要组成部分。真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰灯许多优于固体材料本身的优越性能，达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。

现在大多数镀膜设备上各腔室的连接通常采用阀门形式用的都是长方形插板阀，用来隔断各腔室的真空联通。现在进行阀门隔断腔室时，需要大部分设备关闭，停止后才能进行。

实用新型内容

本实用新型提供一种真空阀门，从而可以在不间断整机工作的情况下，完成部分特殊腔室对大气侧的真空隔断。

一种真空阀门，包括：阀门腔体、阀板组件和气缸装置；

所述阀门腔体包括第一腔体和第二腔体；所述第一腔体和所述第二腔体气密连接；

所述第一腔体包括第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁和第四侧壁；所述第一侧壁、所述第二侧壁、所述第三侧壁和所述第四侧壁围成四边形框体；所述第一侧壁上开设有阀口；所述第一腔体的底部侧由第一底部封闭，在所述第一底部相对的另一侧与所述第二腔体的一侧气密连接；所述第二腔体的另一侧设有气缸装置；

所述阀门腔体包括长度方向、宽度方向及厚度方向；所述第一腔体和所述第二腔体沿所述宽度方向连接；所述气缸装置沿所述宽度方向与所述第二腔体连接；所述阀口沿所述长度方向设置；

所述阀板组件设置于阀门腔体内，其包括密封板、支撑板、连杆装置、拉伸杆；所述密封板与所述支撑板通过所述连杆装置沿所述厚度方向互相连接，所述密封板更靠近所述阀口和所述第一底部；所述支撑板与所述气缸装置通过所述拉伸杆连接；

当所述阀门腔体关闭时，所述密封板先抵到所述阀口的内侧腔壁，支撑板继续前移，前移过程中，逐步压紧所述密封板与所述阀口的内侧腔壁；直到所述支撑板也顶住所述内侧腔壁；使所述阀门腔体处于密封状态。

进一步地，连杆装置包括位移组件、弹性组件；所述位移组件沿所述宽度方向与所述密封板、所述支撑板连接，并设置为两组；所述弹性组件设置于所述位移组件中间，并与所述密封板、所述支撑板连接；所述位移组件包括第一双耳铰链座、第二双耳铰链座以及连接杆；所述第一双耳铰链座与所述第二双耳铰链座通过所述连接杆铰接连接；所述第一双耳铰链座与所述密封板固定连接，所述第二双耳铰链座与所述支撑板固定连接；

所述弹性组件包括第一底座、第二底座以及弹性连接件；所述弹性连接件两端分别与所述第一底座、所述第二底座连接，所述第一底座与所述密封板固定连接，所述第二底座与所述支撑板固定连接。

进一步地，所述阀门腔体两侧内部沿所述宽度方向设有滑轮导轨；所述支撑板的两侧设有与之相匹配的滑轮组件；所述滑轮组件可使所述支撑板在所述阀门腔体内，沿着所述宽度方向滑动。