[实用新型]晶圆盒

权利要求书

1.晶圆盒，其特征在于，包括可拆卸连接在一起的上盖和下盖，所述上盖包括上盖主体和固定于所述上盖主体的底部的第一限位弹片，所述下盖包括下盖主体和固定于所述下盖主体的底部的第二限位弹片，所述第一限位弹片与所述第二限位弹片正对设置，在所述第一限位弹片上形成有第一限位槽，在所述第二限位弹片上形成有第二限位槽，所述第一限位槽和所述第二限位槽均用于与晶圆片的边沿压力配合。

2.根据权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于，所述第一限位弹片包括第一弹性连接部和第一槽体部，所述第一槽体部、所述第一弹性连接部和所述上盖主体依次连接，所述第一限位槽形成于所述第一槽体部。

3.根据权利要求2所述的晶圆盒，其特征在于，所述第一槽体部的一端为连接于所述第一弹性连接部的第一连接端、另一端为第一自由端，所述第一槽体部在所述第一连接端和所述第一自由端之间呈弧形延伸，所述弧形的凹入侧用于面向晶圆片。

4.根据权利要求2所述的晶圆盒，其特征在于，所述上盖包括两个所述第一限位弹片，两个所述第一限位弹片相互对称的设置在所述上盖主体上。

5.根据权利要求4所述的晶圆盒，其特征在于，所述第一限位槽的槽底用于与晶圆片点接触。

6.根据权利要求4所述的晶圆盒，其特征在于，所述上盖还包括第一锥形齿和第二锥形齿，在第一方向上第一锥形齿和第二锥形齿均位于两个所述第一限位弹片之间，在所述第一方向上第一锥形齿和第二锥形齿依次排列，在第二方向上第一锥形齿和第二锥形齿分别位于两个所述第一限位弹片的连线的两侧，第一锥形齿和第二锥形齿均用于与晶圆片接触；所述第一方向为两个所述第一限位弹片的排列方向，所述第二方向垂直于所述第一方向，所述第一方向和所述第二方向均垂直于第三方向，所述第三方向为所述上盖和所述下盖的排列方向。

7.根据权利要求6所述的晶圆盒，其特征在于，在所述上盖上设置有多个第一锥形齿和多个第二锥形齿，在一个所述第一限位弹片上形成有多个所述第一限位槽，在一个所述第一限位弹片上各所述第一限位槽在所述第二方向上排列，各所述第一锥形齿在所述第二方向上排列，且各所述第二锥形齿在所述第二方向上排列，在所述第二方向上相邻的所述第一锥形齿和所述第二锥形齿之间形成间隙，各所述间隙与一个所述第一限位弹片上的各所述第一限位槽的位置一一对应。

8.根据权利要求1-7中任意一项所述的晶圆盒，其特征在于，所述第二限位弹片包括第二弹性连接部和第二槽体部，所述第二槽体部、所述第二弹性连接部和所述下盖主体依次连接，所述第二限位槽形成于所述第二槽体部。

9.根据权利要求8所述的晶圆盒，其特征在于，所述第二槽体部的一端为连接于所述第二弹性连接部的第二连接端、另一端为第二自由端，所述第二槽体部在所述第二连接端和所述第二自由端之间呈弧形延伸，所述弧形的凹入侧用于面向晶圆片。

10.根据权利要求8所述的晶圆盒，其特征在于，所述下盖包括两个所述第二限位弹片，两个所述第二限位弹片相互对称的设置在所述下盖主体上；所述第二限位槽的槽底用于与晶圆片点接触；在所述第二限位弹片上形成有多个所述第二限位槽。