[实用新型]一种甩干装置

权利要求书

1.一种甩干装置，包括盒体及设于所述盒体内的转动机构，其特征在于，所述盒体的一面内凹形成甩干腔，所述甩干腔内设有与所述转动机构驱动连接的甩干桶，所述甩干桶内设有用于承载晶舟的承载机构，所述盒体连接有用于盖合所述甩干腔的盖板，所述盖板背向所述盒体的一面设置第一过滤机构，所述盖板上开设进气孔，所述第一过滤机构通过所述进气孔连通所述甩干腔，所述第一过滤机构一侧壁连通有用于向所述甩干腔内送入氮气的进气管，所述第一过滤机构用于过滤氮气内的颗粒物。

2.根据权利要求1所述的甩干装置，其特征在于，所述甩干装置还包括第二过滤机构，所述第二过滤机构连接于所述第一过滤机构内并用于消除氮气内的静电。

3.根据权利要求1所述的甩干装置，其特征在于，所述甩干装置还包括用于使所述甩干腔内形成负压环境的真空机构。

4.根据权利要求3所述的甩干装置，其特征在于，所述真空机构包括真空泵及真空管，所述真空管的一端连接于所述真空泵上，所述真空管的另一端穿过所述盒体后与所述甩干腔连通。

5.根据权利要求1所述的甩干装置，其特征在于，所述盒体内设置震动检测器，所述震动检测器电性连接所述转动机构。

6.根据权利要求1所述的甩干装置，其特征在于，所述转动机构包括旋转轴及与所述旋转轴驱动连接的转动电机，所述转动电机设于所述盒体的底部，所述旋转轴远离所述转动电机的一端连接于所述甩干桶的底部。

7.根据权利要求1所述的甩干装置，其特征在于，所述承载机构包括若干个卡塞支架，若干个所述卡塞支架环绕所述甩干桶的轴心均匀分布。

8.根据权利要求7所述的甩干装置，其特征在于，所述卡塞支架包括承载盒及支撑杆，所述甩干桶的内侧壁凸起形成第一挡板及第二挡板，所述第一挡板与所述第二挡板之间设置连接杆，所述支撑杆的一端套接于所述连接杆外，所述支撑杆的另一端连接所述承载盒。

9.根据权利要求1所述的甩干装置，其特征在于，所述盒体相对的侧壁分别连接旋转架，相对的所述旋转架之间连接转动杆，所述盖板转动连接于所述转动杆上。

10.根据权利要求1所述的甩干装置，其特征在于，所述盒体背向所述盖板的一面设置固定机构，所述固定机构包括若干个吸盘脚，若干个所述吸盘脚均匀阵列分布。