[实用新型]一种电刷镀装置

说明书

本实用新型提供了一种电刷镀装置，涉及多晶硅制备技术领域。该电刷镀装置包括：安装支架，用于固定安装待镀工件，所述安装支架与所述待镀工件之间形成有一容置空间；驱动机构，设置于所述容置空间内；刷镀组件，与所述驱动机构固定连接，所述刷镀组件用于对所述待镀工件的内壁进行刷镀；其中，所述驱动机构驱动所述刷镀组件进行轴向运动和/或圆周运动。本实用新型的方案，解决了现有的电刷镀装置难以适用于多晶硅还原炉的内壁修复及涂层制备的问题。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅制备技术领域，特别涉及一种电刷镀装置。

背景技术

现有的多晶硅还原炉内壁通常为不锈钢材质，红外反射率较低，会吸收绝大部分由硅芯发出的近红外光，并将其转化为热能，进而通过热传导作用将热能传递至还原炉冷却水，以保持还原炉内壁足够低的温度，使得还原炉强度能够保持在安全范围内。

目前，多晶硅企业大多使用改良西门子法生产多晶硅。在传统的改良西门子法中，以辐射能形式损失的能量占还原炉总能量输入的60％以上。为提高能量利用率，国内外厂家通过冷热喷涂、爆炸复合焊等方式，在还原炉内壁面制备具有高红外反射率的涂层，然而，这些涂层制备方式所使用的设备较为昂贵，且涂层厚度达200μm以上，导致原料成本高昂，且涂层制备过程也存在一定危险性。

电刷镀技术可用于零件修复及涂层制备，其由于设备成本低、工艺简单、适用范围较广，目前已广泛应用于电机轴承、小型叶轮、小型耐磨部件等表面结构的修复及涂层制备。该技术在具体实施时，电刷镀装置需要依赖于人工操作，一般由人工手持电镀刷，使小型工件旋转，分时分层间断性地完成工件的修复及特殊功能涂层的制备。

然而，由于多晶硅还原炉尺寸较大，人工操作劳动强度过大，且工作效率较低，因此，现有的电刷镀装置难以适用于多晶硅还原炉的内壁修复及涂层制备。

实用新型内容

本实用新型实施例提供一种电刷镀装置，以解决现有的电刷镀装置难以适用于多晶硅还原炉的内壁修复及涂层制备的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

依据本实用新型的一个方面，提供了一种电刷镀装置，包括：

安装支架，用于固定安装待镀工件，所述安装支架与所述待镀工件之间形成有一容置空间；

驱动机构，设置于所述容置空间内；

刷镀组件，与所述驱动机构固定连接，所述刷镀组件用于对所述待镀工件的内壁进行刷镀；

其中，所述驱动机构驱动所述刷镀组件进行轴向运动和/或圆周运动。

可选地，所述驱动机构包括：

安装部，所述安装部与所述待镀工件同轴设置；

驱动件，所述驱动件的一端与所述安装部滑动连接，另一端与所述刷镀组件固定连接；

驱动部，所述驱动部与所述驱动件电连接，所述驱动部用于驱动所述驱动件带动所述刷镀组件进行轴向运动和/或圆周运动。

可选地，所述驱动件包括：

第一运动部，所述第一运动部的第一端与所述安装部滑动连接；

第二运动部，所述第二运动部的第一端通过转动轴与所述第一运动部的第二端可转动连接，所述第二运动部的第二端与所述刷镀组件固定连接；

其中，所述驱动部用于驱动所述第一运动部做第一运动，以及驱动所述第二运动部绕所述转动轴转动，所述第一运动包括：沿所述安装部的轴线方向的轴向运动，和/或绕所述安装部的轴线的圆周运动。

可选地，所述刷镀组件包括：

镀笔，与所述驱动机构固定连接，所述镀笔用于向所述待镀工件的内壁刷镀液体物质；