[实用新型]一种光路调光治具、光学系统和激光加工装置有效
| 申请号： | 202222953048.7 | 申请日： | 2022-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN218517913U | 公开（公告）日： | 2023-02-24 |
| 发明（设计）人： | 郭良 | 申请（专利权）人： | 珠海东辉半导体装备有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/06 | 分类号： | B23K26/06;B23K26/70 |
| 代理公司： | 珠海得全知识产权代理事务所(普通合伙) 44947 | 代理人： | 赵学超 |
| 地址： | 519080 广东省珠海市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 调光 光学系统 激光 加工 装置 | ||
1.一种光路调光治具，其特征在于，包括：
固定部(100)，内部设有通道(110)；
入射光部(200)，设于所述通道(110)的第一端，设有入射光孔(210)；
出射光部(300)，设于所述通道(110)的第二端，设有出射光孔(310)，且所述出射光孔(310)和所述入射光孔(210)同轴设置。
2.根据权利要求1所述的光路调光治具，其特征在于：所述入射光部(200)与所述固定部(100)为可拆卸连接。
3.根据权利要求1所述的光路调光治具，其特征在于：所述出射光部(300)与所述固定部(100)为可拆卸连接。
4.根据权利要求1至3任一项所述的光路调光治具，其特征在于：所述入射光部(200)还设有至少两个形状相同的第一通孔(220)，至少两个所述第一通孔(220)以所述入射光孔(210)为中心点且均匀分布于所述入射光部(200)上。
5.根据权利要求4所述的光路调光治具，其特征在于：所述第一通孔(220)的形状为半圆形、扇形、矩形或圆形中的一种。
6.根据权利要求1至3任一项所述的光路调光治具，其特征在于：所述固定部(100)的侧壁上设有至少两个第二通孔(120)，所述第二通孔(120)与所述通道(110)连通。
7.根据权利要求6所述的光路调光治具，其特征在于：至少两个所述第二通孔(120)均匀分布于所述固定部(100)的侧壁上。
8.根据权利要求1至3任一项所述的光路调光治具，其特征在于：所述固定部(100)的第一端还设有连接部(130)，所述连接部(130)用于与光学系统或激光加工装置连接。
9.一种光学系统，其特征在于，包括：
如权利要求1至8任一项所述的光路调光治具；
安装座，设有位于成像光路上的安装部，所述安装部用于安装所述的光路调光治具；
第一驱动件，用于驱动所述安装座移动。
10.一种激光加工装置，其特征在于，包括：
如权利要求1至8任一项所述的光路调光治具；
安装座，设有位于激光光路上的安装部，所述安装部用于安装所述的光路调光治具；
第一驱动件，用于驱动所述安装座移动。
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