[实用新型]一种光路调光治具、光学系统和激光加工装置有效
申请号: | 202222953048.7 | 申请日: | 2022-11-07 |
公开(公告)号: | CN218517913U | 公开(公告)日: | 2023-02-24 |
发明(设计)人: | 郭良 | 申请(专利权)人: | 珠海东辉半导体装备有限公司 |
主分类号: | B23K26/06 | 分类号: | B23K26/06;B23K26/70 |
代理公司: | 珠海得全知识产权代理事务所(普通合伙) 44947 | 代理人: | 赵学超 |
地址: | 519080 广东省珠海市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 调光 光学系统 激光 加工 装置 | ||
本实用新型涉及光路校准技术领域,公开了一种光路调光治具、光学系统和激光加工装置,能够提升准直度的精度,且可以提升准直度的调试效率。本实用新型包括固定部、入射光部和出射光部;所述入射光部设于所述通道的第一端,所述入射光部设有入射光孔;所述出射光部设于所述通道的第二端,所述出射光部设有出射光孔,且所述出射光孔和所述入射光孔同轴设置。本实用新型在调试成像光路或激光光路时,成像光路或激光光路若能够同时穿过入射光孔和出射光孔,同时观察穿过出射光孔之后的光路形状,则可以判断对应的光路准直度是否调试好,本实用新型结构简单、结构小、便于对成像光路或激光光路的准直度进行矫正,有效地提升了准直度的调试效率。
技术领域
本实用新型涉及光路校准技术领域,特别是一种光路调光治具、光学系统和激光加工装置。
背景技术
现有的激光加工设备在使用前,需要分别对成像光路和激光光路进行准直矫正,而目前对成像光路和激光光路的准直矫正过程中由于没有判断标准,因此成像光路和激光光路的准直度调试过程中容易出现误差,精度不高,进而造成成像质量差或是激光加工质量低。
实用新型内容
本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本实用新型提出一种光路调光治具,能够提升准直度的精度,且可以提升准直度的调试效率。
本实用新型还提出一种具有上述光路调光治具的光学系统。
本实用新型还提出一种具有上述光路调光治具的激光加工装置。
一方面,根据本实用新型实施例的光路调光治具,包括固定部、入射光部和出射光部;所述固定部的内部设有通道;所述入射光部设于所述通道的第一端,所述入射光部设有入射光孔;所述出射光部设于所述通道的第二端,所述出射光部设有出射光孔,且所述出射光孔和所述入射光孔同轴设置。
根据本实用新型的一些实施例,所述入射光部与所述固定部为可拆卸连接。
根据本实用新型的一些实施例,所述出射光部与所述固定部为可拆卸连接。
根据本实用新型的一些实施例,所述入射光部还设有至少两个形状相同的第一通孔,至少两个所述第一通孔以所述入射光孔为中心点且均匀分布于所述入射光部上。
根据本实用新型的一些实施例,所述第一通孔的形状为半圆形、扇形、矩形或圆形中的一种。
根据本实用新型的一些实施例,所述固定部的侧壁上设有至少两个第二通孔,所述第二通孔与所述通道连通。
根据本实用新型的一些实施例,至少两个所述第二通孔均匀分布于所述固定部的侧壁上。
根据本实用新型的一些实施例,所述固定部的第一端还设有连接部,所述连接部用于与光学系统或激光加工装置连接。
本实用新型实施例至少具有如下有益效果:在调试成像光路或激光光路时,成像光路或激光光路若能够同时穿过入射光孔和出射光孔,并观察穿过出射光孔之后的光路形状,则可以判断对应的光路准直度是否调试好,本实用新型结构简单、结构小、便于对成像光路或激光光路的准直度进行矫正,有效地提升了准直度的调试效率。
另一方面,根据本实用新型实施例的光学系统,包括根据本实用新型上述实施例的光路调光治具、安装座以及第一驱动件,所述安装座设有位于成像光路上的安装部,所述安装部用于安装所述光路调光治具,所述第一驱动件用于驱动所述安装座移动。
本实用新型实施例至少具有如下有益效果:在调试光学系统的成像光路时,成像光路若能够同时穿过入射光孔和出射光孔,并观察穿过出射光孔之后的光路形状,则可以判断成像光路准直度是否调试好,本实用新型结构简单、结构小、便于对成像光路的准直度进行矫正,有效地提升了准直度的调试效率。
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