[实用新型]电镀液自动管控装置有效
申请号: | 202223133077.5 | 申请日: | 2022-11-24 |
公开(公告)号: | CN218974383U | 公开(公告)日: | 2023-05-05 |
发明(设计)人: | 秦芹;许艳林 | 申请(专利权)人: | 江苏芯德半导体科技有限公司 |
主分类号: | G01N35/00 | 分类号: | G01N35/00 |
代理公司: | 无锡华越知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32571 | 代理人: | 王少卿 |
地址: | 210000 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电镀 自动 装置 | ||
1.电镀液自动管控装置,其特征在于,包括:电镀液槽、循环泵组件、滤芯罐组件、自动分析组件和补液组件,所述电镀液槽连接循环泵组件,所述循环泵组件连接滤芯罐组件,所述接滤芯罐组件连接自动分析组件和电镀液槽,所述补液组件连接电镀液槽,所述自动分析组件和补液组件至少连接一组电镀液槽、循环泵组件和滤芯罐组件。
2.根据权利要求1所述的电镀液自动管控装置,其特征在于,所述循环泵组件包括第一出液管、循环泵和第二出液管,所述第一出液管连接循环泵和电镀液槽,所述第二出液管连接循环泵和滤芯罐组件。
3.根据权利要求2所述的电镀液自动管控装置,其特征在于,所述滤芯罐组件包括:滤芯罐、流量调节阀、第三出液管和第四出液管,所述第三出液管连接滤芯罐和电镀液槽,所述第四出液管连接自动分析组件和补液组件最后回流至电镀液槽。
4.根据权利要求3所述的电镀液自动管控装置,其特征在于,所述第二出液管连接循环泵和滤芯罐。
5.根据权利要求3所述的电镀液自动管控装置,其特征在于,所述自动分析组件包括:第五出液管、加液器和电镀液分析仪,所述第五出液管的一端连通第四出液管,所述第五出液管的另一端连通加液器,所述加液器连接至少一个电镀液分析仪。
6.根据权利要求5所述的电镀液自动管控装置,其特征在于,所述补液组件包括:蠕动泵、补液桶和第六出液管,所述蠕动泵连通补液桶,所述蠕动泵的输出端通过第六出液管连接第四出液管,所述第六出液管在第四出液管上的接入点位于第五出液管在第四出液管上的接入点的后方。
7.根据权利要求6所述的电镀液自动管控装置,其特征在于,所述加液器和电镀液分析仪连接控制计算机,所述控制计算机连接且控制蠕动泵运转或者停止,所述控制计算机控制加液器运转或者停止。
8.根据权利要求6所述的电镀液自动管控装置,其特征在于,所述蠕动泵、补液桶和第六出液管均设有多组。
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