[实用新型]电镀液自动管控装置

说明书

本实用新型公开了一种电镀液自动管控装置，包括：电镀液槽、循环泵组件、滤芯罐组件、自动分析组件和补液组件，电镀液槽连接循环泵组件，循环泵组件连接滤芯罐组件，接滤芯罐组件连接自动分析组件和电镀液槽，补液组件连接电镀液槽，自动分析组件和补液组件至少连接一组电镀液槽、循环泵组件和滤芯罐组件，本实用新型提供了一种自动取样、自动检测、自动添加、自动上传数据的电镀液自动管控装置。

技术领域

本实用新型涉及半导体电镀领域，更具体涉及一种电镀液自动管控装置。

背景技术

电镀是指通过电化学原理在框架表面沉积一层镀层。是半导体集成电路工艺制造过程的重要工艺，因此电镀液的成分、浓度等参数对镀层的质量至关重要。

目前电镀液的浓度管控是通过实验室检测并管控的，首先要人工取样，再手动检测各管控项目的数据，再根据各项目的管控目标值用计算机计算出调整所需的添加量，最后由人工将各种药液添加进电镀槽内，待混合均匀后才能开始生产，并需要做好数据记录保存工作。

主要存在以下缺点：

1.人工取样费时费力，电镀液具有腐蚀性，存在与皮肤接触的风险。不同的电镀液有不同的温度使用要求，人工取样到检测时，电镀液的温度已经发生变化，检测出来的浓度也会受到影响，取样前需要排出部分管道中残留的电镀液，避免影响检测数据。

2.手动检测时，需要提前准备大量标准溶液，还要对样品进行前处理工作，取样时存在人为误差，会对最终的检测结果有一定影响。

3.人工添加药液时，是用电泵将各成份抽进槽内，添加时需要将电镀机暂停生产，再进行添加，待添加完后还需要循环充分，再重新检测对应项目，确保数据在管控范围内之后才能继续生产，添加周期长，暂停生产还会影响产量。

4.数据记录时，需要人工操作，不同的项目需要做不同的记录，要先记录至本地存档，再上传至SPC系统，要经过几次重复的数据记录工作，费时费力。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型的目的在于提供了一种自动取样、自动检测、自动添加、自动上传数据的电镀液自动管控装置。

根据本实用新型的一个方面，提供了电镀液自动管控装置，包括：电镀液槽、循环泵组件、滤芯罐组件、自动分析组件和补液组件，电镀液槽连接循环泵组件，循环泵组件连接滤芯罐组件，接滤芯罐组件连接自动分析组件和电镀液槽，补液组件连接电镀液槽，自动分析组件和补液组件至少连接一组电镀液槽、循环泵组件和滤芯罐组件。通过利用循环泵抽取电镀液进行分析同时将补液组件中输送的电镀液补液同时回流到电镀液槽中；利用自动分析组件对抽取的电镀液进行分析、记录同时控制补液组件添加适量的补液，实现上传数据功能，对电镀液进行自动化管控；利用滤芯罐组件对电镀液进行过滤的同时对自动分析组件的进液流量进行调节。

在一些实施方式中，循环泵组件包括第一出液管、循环泵和第二出液管，第一出液管连接循环泵和电镀液槽，第二出液管连接循环泵和滤芯罐组件。通过循环泵将电镀液槽和滤芯罐三个部分用管路连接形成过滤循环，便于实现电镀液的添加和分析。

在一些实施方式中，滤芯罐组件包括：滤芯罐、流量调节阀、第三出液管和第四出液管，第三出液管连接滤芯罐和电镀液槽，第四出液管连接自动分析组件和补液组件最后回流至电镀液槽。利用滤芯罐必然对流经的电镀液进行过滤，通过流量调节阀对自动分析组件的进液流量进行调节。

在一些实施方式中，第二出液管连接循环泵和滤芯罐。通过第二出液管连通循环泵和滤芯罐，实现电镀液的循环。

在一些实施方式中，自动分析组件包括：第五出液管、加液器和电镀液分析仪，第五出液管的一端连通第四出液管，第五出液管的另一端连通加液器，加液器连接至少一个电镀液分析仪。通过第五出液管和加液器将电镀液槽中的电镀液提取到电镀液分析仪进行检测分析，然后电镀液分析仪将所得出的数据传输给控制计算机进行数据的记录和分析。