[实用新型]一种可移动旋转的键合后目检装置有效

专利信息
申请号: 202223306427.3 申请日: 2022-12-09
公开(公告)号: CN218996688U 公开(公告)日: 2023-05-09
发明(设计)人: 徐琳润;韩延昭 申请(专利权)人: 上海道之科技有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L21/677;H01L21/66;G01B11/14;G01B11/24
代理公司: 上海申新律师事务所 31272 代理人: 沈栋栋
地址: 201800*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 移动 旋转 键合后目检 装置
【权利要求书】:

1.一种可移动旋转的键合后目检装置,其特征在于,包括:固定台、显微镜、托盘和支撑平台,所述固定台固定在所述显微镜上,所述支撑平台的底部水平滑动安装在所述固定台上,所述支撑平台的顶部具有容置槽,所述托盘滑动设于所述容置槽内,用于放置功率模块,所述支撑平台包括:

固定平台,所述固定平台的底部水平滑动安装在所述固定台上,所述固定平台的底部固定设有固定轴,所述固定轴的外部套设有扭簧,所述扭簧的一端与所述固定平台接触;

旋转平台,所述旋转平台的一侧转动安装在所述固定平台的一侧转动连接,所述扭簧的另一端与所述旋转平台的底部接触,用于驱使所述旋转平台处于水平状态。

2.根据权利要求1所述可移动旋转的键合后目检装置,其特征在于,所述固定台上设有两相互平行的滑轨,且所述滑轨沿所述固定台的长度方向设置,两所述滑轨上均滑动设有滑块,两所述滑块通过连接台固定连接,所述连接台与所述固定平台的底部固定。

3.根据权利要求2所述可移动旋转的键合后目检装置,其特征在于,所述旋转平台靠近所述固定平台的一端的两侧分别通过一转轴转动安装在所述固定平台的两侧。

4.根据权利要求3所述可移动旋转的键合后目检装置,其特征在于,所述固定平台的顶部设有两耳板,两所述耳板对称分布于所述固定平台的两侧,所述固定轴固定在两所述耳板之间。

5.根据权利要求4所述可移动旋转的键合后目检装置,其特征在于,所述固定平台的底部具有支撑板,所述扭簧的一端与所述支撑板接触。

6.根据权利要求5所述可移动旋转的键合后目检装置,其特征在于,所述扭簧设有两个,两所述扭簧对称分布于所述固定轴的两侧。

7.根据权利要求1所述可移动旋转的键合后目检装置,其特征在于,所述托盘上设有把手。

8.根据权利要求7所述可移动旋转的键合后目检装置,其特征在于,所述托盘的顶部还设有定位结构,用于定位所述功率模块。

9.根据权利要求8所述可移动旋转的键合后目检装置,其特征在于,所述定位结构包括两定位块,两所述定位块对称分布于所述托盘的两侧。

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