[实用新型]一种单晶炉冷却设备水路优化结构

权利要求书

1.一种单晶炉冷却设备水路优化结构，其特征在于，包括常温水路和低温水路，所述常温水路和低温水路均与第一设备和第二设备连接，所述常温水路和低温水路可切换使用，对所述第一设备和第二设备同时进行冷却水循环。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉冷却设备水路优化结构，其特征在于：所述第一设备上设有第一进水管和第一回水管，所述第一进水管和第一回水管形成所述第一设备的常温水路。

3.根据权利要求2所述的一种单晶炉冷却设备水路优化结构，其特征在于：所述第二设备上设有第二进水管和第二回水管，所述第二进水管的进水端连接有第一分水器，所述第一分水器连接所述第二进水管的一端连接有第一连接管，所述第二回水管的出水端连接有第三分水器，所述第三分水器连接所述第二回水管的一端连接有第二连接管，所述第一连接管、第二进水管、第二回水管、第二连接管形成所述第二设备的常温水路。

4.根据权利要求3所述的一种单晶炉冷却设备水路优化结构，其特征在于：所述第一分水器上还设有并联进水管，所述并联进水管的另外一端与所述第一进水管的进水端连接，所述并联进水管、第一进水管形成所述第一设备低温水路的进水管路。

5.根据权利要求4所述的一种单晶炉冷却设备水路优化结构，其特征在于：所述并联进水管与所述第一进水管的连接端设有第一三通接头，所述第一三通接头上设有第一球阀。

6.根据权利要求3所述的一种单晶炉冷却设备水路优化结构，其特征在于：所述第三分水器上还设有并联回水管，所述并联回水管的另外一端与所述第一回水管的回水端连接，所述第一回水管、并联回水管形成所述第一设备低温水路的回水管路。

7.根据权利要求6所述的一种单晶炉冷却设备水路优化结构，其特征在于：所述并联回水管与所述第一回水管的连接端设有第二三通接头，所述第二三通接头上设有第二球阀。

8.根据权利要求3-7任一所述的一种单晶炉冷却设备水路优化结构，其特征在于：所述第二设备的低温水路包括所述第二进水管和第二回水管。

9.根据权利要求3-7任一所述的一种单晶炉冷却设备水路优化结构，其特征在于：所述第一连接管远离所述第一分水器的一端设有第二分水器。

10.根据权利要求3-7任一所述的一种单晶炉冷却设备水路优化结构，其特征在于：所述第二连接管远离所述第三分水器的一端设有第四分水器。