[实用新型]一种单晶炉冷却设备水路优化结构

说明书

本实用新型提供一种单晶炉冷却设备水路优化结构，包括常温水路和低温水路，所述常温水路和低温水路均与第一设备和第二设备连接，所述常温水路和低温水路可切换使用，对所述第一设备和第二设备同时进行冷却水循环。本实用新型的有益效果是提高了单晶炉冷却设备的冷却效率，延长了冷却设备各器件的使用寿命，降低了维护成本。

技术领域

本实用新型属于单晶炉冷却技术领域，尤其是涉及一种单晶炉冷却设备水路优化结构。

背景技术

直拉单晶制备过程中，单晶炉热场处于高温状态中，拉晶完成后，需要将热场温度降至300℃以下确保热场部件不受氧化再进行拆炉。但是单晶炉自然冷却的时间较长，通常需要借助冷却设备对单晶炉进行冷却，提高单晶炉的冷却效率。

在现有的冷却设备中，只配有一路管路进行冷却水循环，只能通入一种温度的冷却水，随着外界温度的升高，尤其是春夏季，容易导致冷却效率下降。真空泵是冷却设备中的主要部件，在冷却水温度26℃水流恒定的情况下，秋冬季真空泵体运行温度为30-40℃，春夏季运行温度最高可达50-70℃，长时间的高温运行，缩短了真空泵等各器件的使用周期，增加了维护成本。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种单晶炉冷却设备水路优化结构，有效的解决了单晶炉冷却设备受外界温度影响，冷却效率下降，各器件使用周期缩短的问题，克服了现有技术的不足。

本实用新型采用的技术方案是：一种单晶炉冷却设备水路优化结构，包括常温水路和低温水路，所述常温水路和低温水路均与所述第一设备和第二设备连接，所述常温水路和低温水路可切换使用，对所述第一设备和第二设备同时进行冷却水循环。

进一步，所述第一设备上设有第一进水管和第一回水管，所述第一进水管和第一回水管形成所述第一设备的常温水路。

进一步，所述第二设备上设有第二进水管和第二回水管，所述第二进水管的进水端连接有第一分水器，所述第一分水器连接所述第二进水管的一端连接有第一连接管，所述第二回水管的出水端连接有第三分水器，所述第三分水器连接所述第二回水管的一端连接有第二连接管，所述第一连接管、第二进水管、第二回水管、第二连接管形成所述第二设备的常温水路。

进一步，所述第一分水器上还设有并联进水管，所述并联进水管的另外一端与所述第一进水管的进水端连接，所述并联进水管、第一进水管形成所述第一设备低温水路的进水管路。

进一步，所述并联进水管与所述第一进水管的连接端设有第一三通接头，所述第一三通接头上设有第一球阀。

进一步，所述第三分水器上还设有并联回水管，所述并联回水管的另外一端与所述第一回水管的回水端连接，所述第一回水管、并联回水管形成所述第一设备低温水路的回水管路。

进一步，所述并联回水管与所述第一回水管的连接端设有第二三通接头，所述第二三通接头上设有第二球阀。

进一步，所述第二设备的低温水路包括所述第二进水管和第二回水管。

进一步，所述第一连接管远离所述第一分水器的一端设有第二分水器。

进一步，所述第二连接管远离所述第三分水器的一端设有第四分水器。

本实用新型具有的优点和积极效果是：由于采用上述技术方案，提高了单晶炉冷却设备的冷却效率，延长了冷却设备各器件的使用寿命，降低了维护成本。

附图说明

图1是本实用新型实施例一种单晶炉冷却设备水路优化结构的整体结构示意图。

图中：

1、进水管路           2、第一进水管       3、第一回水管

4、出水管路           5、第二进水管       6、第二回水管