[实用新型]一种高真空微调阀

权利要求书

1.一种高真空微调阀，其特征在于，包括阀体(100)与阀头(101)，所述阀头(101)上设置有出气口(102)，所述阀体(100)上设置有进气口(103)，所述阀体(100)与所述阀头(101)之间设置有连接件，使得所述阀头(101)可更换。

2.根据权利要求1所述的一种高真空微调阀，其特征在于，所述连接件包括固定设置在所述阀体(100)上的固定座(104)，所述阀头(101)上设置有连接座(105)，所述固定座(104)与所述连接座(105)可拆卸连接。

3.根据权利要求2所述的一种高真空微调阀，其特征在于，所述连接座(105)与所述固定座(104)上均设置有连接螺孔，紧定螺钉穿过所述连接座(105)与所述固定座(104)上的连接螺孔后与螺母相螺接，将所述固定座(104)与所述连接座(105)相固定。

4.根据权利要求1所述的一种高真空微调阀，其特征在于，所述阀头(101)远离所述出气口(102)的一端设置有定位台阶(106)，连接座(105)上设置有搭台(107)，当所述阀头(101)与所述阀体(100)进行固定时，所述定位台阶(106)搭在所述搭台(107)上。

5.根据权利要求1所述的一种高真空微调阀，其特征在于，所述阀体(100)与所述阀头(101)之间设置有密封垫(108)。

6.根据权利要求1所述的一种高真空微调阀，其特征在于，所述阀头(101)与所述阀体(100)的端面上均设置有密封槽(109)，当所述阀头(101)与所述阀体(100)相固定时，所述阀体(100)上的密封槽(109)与所述阀体(100)上的密封槽(109)围成一放置密封垫(108)的密封腔。

7.根据权利要求1所述的一种高真空微调阀，其特征在于，连接座(105)的内侧壁上固定设置有密封橡胶(110)。

8.根据权利要求1所述的一种高真空微调阀，其特征在于，所述进气口(103)的直径与所述出气口(102)的直径相等。