[发明专利]一种基于液态金属的封装结构、封装方法及封装体在审
申请号: | 202310055877.X | 申请日: | 2023-01-19 |
公开(公告)号: | CN116053218A | 公开(公告)日: | 2023-05-02 |
发明(设计)人: | 申清臣;邓涛;尚文;迈克尔.迪基;蒋墨迪;宋柯贤;王锐桐;阚如御;付本威;陶鹏;宋成轶 | 申请(专利权)人: | 上海交通大学 |
主分类号: | H01L23/29 | 分类号: | H01L23/29;H01L23/31;H01L21/56 |
代理公司: | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人: | 杨云 |
地址: | 200030 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 液态 金属 封装 结构 方法 | ||
1.一种基于液态金属的封装结构,其特征在于:包括第一弹性层和第二弹性层;所述第一弹性层和第二弹性层之间形成容纳腔,液态金属填充所述容纳腔形成中间液态金属层;
所述液态金属的填充量Q满足:Q=N×S,其中,Q为液态金属填充量,单位g;S为封装面积,单位cm2;N的取值为5×10-6-2g/cm2。
2.根据权利要求1所述的封装结构,其特征在于:所述第一弹性层和/或第二弹性层选自天然橡胶层、合成橡胶层、离子凝胶层、水凝胶层中的至少一种;液态金属选自镓基液态金属、铟基液态金属、铋基液态金属中的至少一种。
3.根据权利要求1或2所述的封装结构,其特征在于:N的取值为0.05-0.8g/cm2。
4.根据权利要求3所述的封装结构,其特征在于,在第一弹性层面向第二弹性层的表面,和/或第二弹性层面向第一弹性层的表面,具有与所述弹性层一体成型的若干凸部,凸部高度为0.05-1mm,相邻凸部之间的间距为0.01-5mm,且凸部表面具有阻气层。
5.一种基于权利要求1-4任一项所述封装结构的封装方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤一:用第二弹性层围绕并密封待封装物,形成内封装结构;
步骤二:用第一弹性层围绕并密封第二弹性层,形成外封装结构;所述第一弹性层和第二弹性层之间形成容纳腔;
步骤三:通过第一弹性层上预留的液态金属入口,将液态金属填充所述容纳腔,形成中间液态金属层。
6.根据权利要求5所述封装方法,其特征在于,液态金属填充所述容纳腔的过程包括如下步骤:
S1:用液态金属覆盖第一弹性层上的液态金属入口,然后将外封装结构放置到一个密封容器中;
S2:对密封容器抽真空,除去密封容器及所述容纳腔中空气;
S3:对密封容器破真空;液态金属利用内外压力差填充所述容纳腔;
S4:移除密封容器,封堵所述液态金属入口。
7.根据权利要求6所述封装方法,其特征在于,步骤S1中,所述液态金属盛放于一开口容器中,该开口容器底部具有通孔,通孔与所述液态金属入口对齐密封形成液态金属流道;然后将外封装结构与开口容器放置到密封容器中。
8.根据权利要求5-7任一项所述的封装方法,其特征在于,采用单片第二弹性层卷绕粘合形成内封装结构,或者采用多片第二弹性层对接粘合形成内封装结构;并且
采用单片第一弹性层卷绕粘合形成外封装结构,或者采用多片第一弹性层对接粘合形成外封装结构。
9.根据权利要求8所述封装方法,其特征在于,在步骤一之前,在第一弹性层面向第二弹性层的表面,和/或第二弹性层面向第一弹性层的表面,一体成型若干凸部,对凸部进行表面处理,然后将阻气层结合到表面处理后的凸部上。
10.一种采用权利要求5-9任一项所述的封装方法制备的封装体,其特征在于,在5-20%的拉伸状态下,所述封装体的透氧率在2.5×10-6cc/day/cm2以下,水蒸气透过率在8.0×10-7cc/day/cm2以下。
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