[发明专利]一种晶圆清洗装置

权利要求书

1.一种晶圆清洗装置，其特征在于，包括：

夹持组件，其水平夹持并驱动晶圆旋转；

刷洗组件，其设置于所述夹持组件的侧部；

所述刷洗组件包括摆臂，所述摆臂能够摆动至夹持组件的上方，其上的清洗刷沿晶圆的半径方向摆动以刷洗晶圆；

所述清洗刷随所述摆臂沿竖直方向移动并抵压于晶圆表面，并且，所述清洗刷能够绕竖向轴线转动以刷洗晶圆。

2.如权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述摆臂包括固定板，所述固定板设置有驱动电机，所述驱动电机将动力传递至转动轴，所述清洗刷可拆卸地连接于所述转动轴的下端。

3.如权利要求2所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述固定板的端部配置有安装座，所述转动轴通过转接件设置于所述安装座；所述转接件的外侧配置有滚珠轴承，其内侧配置有直线轴承，所述直线轴承套设于所述转动轴的外周侧。

4.如权利要求3所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述安装座的内部还设置有密封环，其罩设于所述转动轴的外周侧并位于所述转接件的底部；所述密封环配置有沟槽，所述沟槽与所述滚珠轴承及直线轴承相连通。

5.如权利要求4所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述安装座配置有通气孔，所述通气孔与密封环的沟槽相连通，并且，所述通气孔与真空源连通，以抽吸进入所述沟槽中的颗粒物。

6.如权利要求4所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述密封环的外沿与安装座的内侧壁之间设置有间隙，所述密封环的内沿与所述转动轴的外侧壁之间设置有间隙。

7.如权利要求2所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述固定板的上方配置有安装架，气缸设置于所述安装架；所述气缸的输出端通过升降组件连接于所述转动轴，以带动所述转动轴沿竖直方向移动。

8.如权利要求7所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述升降组件包括竖向件和横向件，所述竖向件滑动连接于所述安装座，所述横向件连接于所述竖向件的顶部并固定于所述转动轴的顶部。

9.如权利要求8所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述横向件的下方设置有调心轴承和弹簧，所述调心轴承和弹簧套设于所述转动轴的外侧；并且所述调心轴承设置于上限位板，所述弹簧的一端抵接于所述调心轴承的下方，其另一端抵接于下限位板，所述下限位板设置于所述转动轴。

10.如权利要求8所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述竖向件的侧部配置有抵压件，所述抵压件自竖向件的侧部朝向外侧延伸；所述抵压件的下方配置有压力传感器，以监测所述气缸对清洗刷施加的载荷。