[发明专利]储片盒传输装置和储片盒固定组件

说明书

本发明提供一种储片盒传输装置和储片盒固定组件，包括承载板、承载板传输组件和至少两个储片盒固定组件，承载板传输组件与承载板固定连接，用于驱动承载板沿传输方向移动；至少两个储片盒固定组件沿传输方向分布在承载板的两侧，且均与承载板固定连接，每个储片盒固定组件包括伸缩机构和压盒结构，伸缩机构固定设置在承载板的底面上，伸缩机构用于驱动压盒结构靠近或远离承载板，当压盒结构靠近承载板时，压盒结构的压盒接触面与储片盒的底板的上表面接触。在本发明中，储片盒固定组件能够将储片盒固定在承载板的承载面上，从而在承载板带动储片盒沿传输方向移动时防止储片盒在传输过程中发生晃动，保证晶片的位置精度，提高产品良率。

技术领域

本发明涉及半导体设备领域，具体地，涉及一种储片盒传输装置和储片盒固定组件。

背景技术

在半导体工艺中，常通过储片盒(Foup盒)装载成批次的晶片进出半导体设备(如，氧化炉)，为便于在清洁环境下对储片盒中的晶片(Wafer)进行取、放操作，半导体设备的前端部通常设置有用于临时放置储片盒的小型仓储(MiniStocker)模块，该小型仓储模块能够自动对其内部放置的储片盒进行运输、定位操作、储片盒舱门的开启、关闭操作以及晶片取放等操作，与人工操作取放晶片相比，其晶片放置精度更高，且能够避免在操作过程中向工艺腔室引入额外的杂质。

然而，现有半导体设备中的小型仓储模块在储片盒运输过程中，由于储片盒发生晃动，会导致储片盒装载的晶片位置发生变化，进而由于晶片出现位置偏差，向工艺腔室中放置晶片时，废品率较高。因此，如何提供一种能够提高晶片位置的控制精度的储片盒传输装置，成为本领域亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明旨在提供一种储片盒传输装置和储片盒固定组件，其能够提高晶片在储片盒中的位置精度。

为实现上述目的，本发明提供一种储片盒传输装置，包括承载板、承载板传输组件和至少两个储片盒固定组件，其中，

所述承载板包括用于承载所述储片盒的承载面；

所述承载板传输组件与所述承载板固定连接，用于驱动所述承载板沿传输方向移动；

至少两个所述储片盒固定组件沿所述传输方向分布在所述承载板的两侧，且均与所述承载板固定连接，所述储片盒固定组件包括伸缩机构和压盒结构，所述伸缩机构固定设置在所述承载板的底面上，所述伸缩机构用于驱动所述压盒结构靠近或远离所述承载板，当所述压盒结构靠近所述承载板时，所述压盒结构的压盒接触面与所述储片盒的底板的上表面接触。

可选的，所述伸缩机构包括伸缩驱动部和辅助固定调节板，所述伸缩驱动部用于驱动所述压盒结构移动，所述伸缩驱动部通过所述辅助固定调节板与所述承载板连接；所述辅助固定调节板在所述承载板上的位置可调。

可选的，所述储片盒固定组件包括多个第一定位螺钉，所述承载板上形成有多个沿厚度方向贯穿所述承载板的第一定位安装孔，所述辅助固定调节板上形成有多个沿同一直线排布的第一定位螺纹孔，所述第一定位安装孔的横截面为沿所述承载板边缘方向延伸的长条形，多个所述第一定位螺钉依次穿过所述第一定位安装孔和所述第一定位螺纹孔，所述第一定位螺钉能够在所述第一定位安装孔中沿所述第一定位安装孔的延伸方向滑动，且所述第一定位螺钉拧紧在所述第一定位螺纹孔中时能够将所述承载板与所述辅助固定调节板固定连接。

可选的，所述储片盒固定组件包括多个第二定位螺钉，所述辅助固定调节板上形成有多个沿厚度方向贯穿所述辅助固定调节板的第二定位安装孔，所述伸缩驱动部具有多个沿同一直线排布的第二定位螺纹孔，所述第二定位安装孔的横截面为沿对应的压盒结构的运动方向延伸的长条形，多个所述第二定位螺钉依次穿过所述第二定位安装孔和所述第二定位螺纹孔，所述第二定位螺钉能够在所述第二定位安装孔中沿所述第二定位安装孔的延伸方向滑动，且所述第二定位螺钉拧紧在所述第二定位螺纹孔中时能够将所述伸缩驱动部与所述辅助固定调节板固定连接。