[发明专利]一种高可靠性引线框架及其制备方法有效
申请号: | 202310487119.5 | 申请日: | 2023-05-04 |
公开(公告)号: | CN116479485B | 公开(公告)日: | 2023-10-20 |
发明(设计)人: | 沈健;高迎阳;杜江 | 申请(专利权)人: | 泰州东田电子有限公司 |
主分类号: | C25D5/14 | 分类号: | C25D5/14;C25D5/34;C25D5/18;C25D3/30;C25D3/12;C25D3/46;C25D3/56;C25F1/04;H01L23/495 |
代理公司: | 南京明杰知识产权代理事务所(普通合伙) 32464 | 代理人: | 吴玥 |
地址: | 225300 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 可靠性 引线 框架 及其 制备 方法 | ||
本发明涉及引线框架技术领域,具体为一种高可靠性引线框架及其制备方法。包括以下步骤:步骤1:对铜片基体依次进行电解除油、酸洗、等离子清洗,得到预处理铜基引线框架;步骤2:将预处理铜基引线框架置于锡镀覆液中,脉冲电沉积锡层,得到引线框架A;步骤3:将引线框架A先置于镍镀覆液中,直流电沉积镍层;转移至镍钯镀覆液中,梯度直流电沉积,得到引线框架B;步骤4:将引线框架B置于银镀覆液中,脉冲电沉积银层;得到高可靠性引线框架。
技术领域
本发明涉及引线框架技术领域,具体为一种高可靠性引线框架及其制备方法。
背景技术
引线框架是一种利用铜丝、铝丝等键合材料,实现芯片内部电路引出端与外引线电气连接,形成电气回路的芯片载体,起到支撑信号传输、分配功率、传导散热的作用,是电子信息产业中十分重要的基础性材料。
为了增强引线框架的装片/键合性能,通常需要对铜丝等基础引线框架进行改性,从而使得芯片和焊接丝与引线框架形成良好的扩散焊接,增强引线框架的可靠性。而改性过程通常包括合金化熔炼和镀层处理;相较于合金化熔炼改性,使用镀层处理更为方面,可以在一定程度上解决铜高温氧化腐蚀和可靠性问题。现有工艺中,对铜基引线框架的镀层处理中,存在以下缺陷:一是电镀层与金属极片之间的界面结合性差,影响引线框架的可靠性和整体稳定性降低;二是镀层的内应力高,具有一定脆性,使得引线框架的整体强度较低;三是,由于镀层存在界面作用,会影响导电性、耐腐蚀等性能,降低其传输稳定性。
综上,解决上述问题,制备一种高可靠性引线框架具有重要意义。
发明内容
本发明的目的在于提供一种高可靠性引线框架及其制备方法,以解决上述背景技术中提出的问题。
为了解决上述技术问题,本发明提供如下技术方案:
一种高可靠性引线框架的制备方法,包括以下步骤:
步骤1:对铜片基体依次进行电解除油、酸洗、等离子清洗,得到预处理铜基引线框架;
步骤2:将预处理铜基引线框架置于锡镀覆液中,脉冲电沉积锡层,得到引线框架A;
步骤3:将引线框架A先置于镍镀覆液中,直流电沉积镍层;转移至镍钯镀覆液中,梯度直流电沉积:控制电流密度为从2~2.5A/dm2梯度降至1A/dm2,0.5A.dm-2/5min,温度从55~60℃梯度降至45℃,5℃/5min,每梯度段直流电沉积4~5分钟,去离子水冲洗,吹干,得到引线框架B;
步骤4:将引线框架B置于银镀覆液中,脉冲电沉积银层;得到高可靠性引线框架。
进一步的,步骤1中,电解除油步骤中,除油溶液包括以下组分:140~145g/L的氯化钠、35~40g/L的氢氧化钠、4~6g/L硅酸钠、2~3g/L的硫代硫酸钠;工艺参数为:控制电流密度为0.5~1A/dm2,温度为60~70℃,电解除油20~30分钟;酸洗步骤中,酸溶液包括以下组分:6~10wt%的硫酸、2~4wt%的抗坏血酸,其余为水;工艺参数为:酸洗10~20秒;等离子清洗步骤中,气氛为Ar-H2,清洗时间为100~150秒。
进一步的,步骤2中,锡镀覆液包括以下组分:150~180mL/L的甲基磺酸锡、12~16g/L的氯化锡、2~4g/L的氯化铟、140~160mL/L的甲基磺酸、75~85g/L的柠檬酸钠、0.2~0.3g/L的明胶、0.4~0.5g/L的6-脒基-2-萘酚甲基磺酸、0.1~0.3g/L的β-萘酚聚氧乙烯醚。
进一步的,步骤2中,锡层的脉冲电沉积工艺参数为:控制电流密度为1~1.5A/dm2,脉冲电流频率为80~150Hz,占空比为50~60%,温度为30~40℃,电沉积4~8s。
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