[发明专利]滤波器晶圆旋转冲洗甩干机

权利要求书

1.滤波器晶圆旋转冲洗甩干机，包括机架（1），设置在所述机架（1）上的冲洗机构（2）、甩干机构（3）和烘干机构（4），其特征在于，所述甩干机构（3）包括：

甩干筒（5），设置在所述机架（1）上；

旋转架（6），转动设置在所述甩干筒（5）内，所述旋转架（6）上具有若干托板（7），所述托板（7）上端与所述旋转架（6）铰接，若干托板（7）沿所述旋转架（6）圆周间隔分布；

夹紧机构（8），设置在所述托板（7）上；

晶圆盒（9），设置在所述托板（7）上，所述晶圆盒（9）具有若干放置槽（10），若干所述放置槽（10）平行间隔分布，所述放置槽（10）用于盛放晶圆，所述夹紧机构（8）用于夹紧所述晶圆盒（9），所述晶圆盒（9）底部具有连接块（14），所述夹紧机构（8）包括安装框（15）、夹紧件（16）和第一弹性件（17），安装框（15）设置在所述托板（7）上；夹紧件（16）具有若干个，转动设置在所述安装框（15）上，若干所述夹紧件（16）形成夹紧空间，所述连接块（14）位于所述夹紧空间内；第一弹性件（17）两端分别设置在所述安装框（15）和所述夹紧件（16）上，所述第一弹性件（17）用于提供若干所述夹紧件（16）相互靠近的力；

限位垫（11），具有若干个，设置在所述放置槽（10）内，若干所述限位垫（11）形成限位空间；

翻转机构（18），设置在所述晶圆盒（9）上；

盖板（12），设置在所述翻转机构（18）上，所述盖板（12）上具有若干通孔，所述翻转机构（18）翻转所述盖板（12）后将所述晶圆盒（9）闭合；

第一驱动件（13），设置在所述机架（1）上，所述第一驱动件（13）用于驱动所述旋转架（6）转动。

2.根据权利要求1所述的滤波器晶圆旋转冲洗甩干机，其特征在于，所述翻转机构（18）包括：

第一安装座（19），设置在所述晶圆盒（9）上；

传动部（20），设置在所述第一安装座（19）上；

第二安装座（21），设置在所述传动部（20）上，所述盖板（12）设置在所述第二安装座（21）上；

第二驱动件（22），设置在所述第一安装座（19）上，所述第二驱动件（22）用于驱动所述传动部（20）带动所述第二安装座（21）翻转所述盖板（12）。

3.根据权利要求2所述的滤波器晶圆旋转冲洗甩干机，其特征在于，所述传动部（20）包括：

第一连杆（23），一端转动设置在所述第一安装座（19）上；

第二连杆（24），一端转动设置在所述第一安装座（19）上；

第三连杆（25），所述第三连杆（25）为L型，所述第三连杆（25）一端转动设置在所述第一连杆（23）的另一端，所述第三连杆（25）的中部与所述第二连杆（24）的折弯部铰接；

第四连杆（26），一端转动设置在所述第二连杆（24）的另一端，所述第三连杆（25）和所述第四连杆（26）的另一端均转动设置在第二安装座（21）上。

4.根据权利要求1所述的滤波器晶圆旋转冲洗甩干机，其特征在于，所述冲洗机构（2）包括：

安装架（27），设置在所述甩干筒（5）上；

驱动杆（28），转动设置在所述安装架（27）上，所述驱动杆（28）一端具有拨动杆（29）；

U型架（30），转动设置在所述拨动杆（29）上；

冲洗头（31），转动设置在所述U型架（30）上，所述冲洗头（31）一端具有连接杆（32），所述连接杆（32）转动设置在所述安装架（27）上；

进水管（33），设置在所述冲洗头（31）的另一端，所述进水管（33）一端转动设置在所述安装架（27）上；

第三驱动件（34），设置在所述安装架（27）上，所述第三驱动件（34）用于驱动所述驱动杆（28）转动。

5.根据权利要求4所述的滤波器晶圆旋转冲洗甩干机，其特征在于，所述冲洗头（31）的出水口（35）由中心向两端高度依次降低。

6.根据权利要求1所述的滤波器晶圆旋转冲洗甩干机，其特征在于，所述晶圆盒（9）的两个侧壁（36）上端间距大于两个所述侧壁（36）下端间距。

7.根据权利要求1所述的滤波器晶圆旋转冲洗甩干机，其特征在于，所述托板（7）上具有若干通槽（37），所述夹紧机构（8）位于所述通槽（37）下方，所述连接块（14）穿过所述通槽（37）后，所述夹紧机构（8）夹紧所述连接块（14）。