[发明专利]滤波器晶圆旋转冲洗甩干机

说明书

本发明涉及滤波器晶圆冲洗设备技术领域，提出了滤波器晶圆旋转冲洗甩干机，包括机架，设置在机架上的冲洗机构、甩干机构和烘干机构，甩干机构包括：甩干筒设置在机架上，旋转架转动设置在甩干筒内，旋转架上具有若干托板，若干托板沿旋转架圆周间隔分布，夹紧机构设置在托板上，晶圆盒设置在托板上，晶圆盒具有若干平行间隔分布的放置槽，夹紧机构用于夹紧晶圆盒，限位垫设置在放置槽两端，盖板设置在晶圆盒上，第一驱动件设置在机架上，第一驱动件用于驱动旋转架转动。通过上述技术方案，解决了现有技术中的不便对晶圆进行冲洗甩干的问题。

技术领域

本发明涉及滤波器晶圆冲洗设备技术领域，具体的，涉及滤波器晶圆旋转冲洗甩干机。

背景技术

滤波器是由电容、电感和电阻组成的滤波电路。滤波器可以对电源线中特定频率的频点或该频点以外的频率进行有效滤除，得到一个特定频率的电源信号，或消除一个特定频率后的电源信号。芯片是滤波器生产过程中必不可少的组成部件，而晶圆是芯片的载体，在晶圆的生产过程中会有一些微尘残留在晶圆表面，若不及时清洗将严重影响产品的良品率。晶圆的清洗干燥通常用旋转冲洗甩干机完成，现有的旋转冲洗甩干机在对晶圆进行清洗时，通常是将多片晶圆间隔放在一个一个晶圆盒内，不便对所有的晶圆进行冲洗。在旋转甩干的过程中晶圆会相对晶圆盒产生微小的位移，晶圆的边缘可能产生磕破损，影响晶圆的良品率。

发明内容

本发明提出滤波器晶圆旋转冲洗甩干机，解决了相关技术中的不便对所有晶圆进行冲洗甩干的问题。

本发明的技术方案如下：

滤波器晶圆旋转冲洗甩干机，包括机架，设置在所述机架上的冲洗机构、甩干机构和烘干机构，所述甩干机构包括：

甩干筒，设置在所述机架上；

旋转架，转动设置在所述甩干筒内，所述旋转架上具有若干托板，所述托板上端与所述旋转架铰接，若干托板沿所述旋转架圆周间隔分布；

夹紧机构，设置在所述托板上；

晶圆盒，设置在所述托板上，所述晶圆盒具有若干放置槽，若干所述放置槽平行间隔分布，所述放置槽用于盛放晶圆，所述夹紧机构用于夹紧所述晶圆盒；

限位垫，具有若干个，设置在所述放置槽两端，若干所述限位垫形成限位空间；

翻转机构，设置在所述晶圆盒上；

盖板，设置在所述翻转机构上，所述盖板上具有若干通孔，所述翻转机构翻转所述盖板后将所述晶圆盒闭合；

第一驱动件，设置在所述机架上，所述第一驱动件用于驱动所述旋转架转动。

作为进一步的技术方案，所述晶圆盒底部具有连接块，所述夹紧机构包括：

安装框，设置在所述托板上；

夹紧件，具有若干个，转动设置在所述安装框上，若干所述夹紧件形成夹紧空间，所述连接块位于所述夹紧空间内；

第一弹性件，两端分别设置在所述安装框和所述夹紧件上，所述第一弹性件用于带动若干所述夹紧件的分离端相互靠近。

作为进一步的技术方案，所述翻转机构两端分别设置在所述晶圆盒和所述盖板上，所述翻转机构具有两个，两个所述翻转机构设置在所述盖板两侧，所述翻转机构包括：

第一安装座，设置在所述晶圆盒上；

传动部，设置在所述第一安装座上；

第二安装座，设置在所述传动部上，所述盖板设置在所述第二安装座上；

第二驱动件，设置在所述第一安装座上，所述第二驱动件用于驱动所述传动部带动所述第二安装座翻转所述盖板。

作为进一步的技术方案，所述传动部包括：