[发明专利]一种保持环的表面形态检测方法、装置及系统在审

专利信息
申请号: 202310599208.9 申请日: 2023-05-25
公开(公告)号: CN116625273A 公开(公告)日: 2023-08-22
发明(设计)人: 江国梁;吕晓东 申请(专利权)人: 上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
主分类号: G01B11/24 分类号: G01B11/24
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 薛娇
地址: 201807 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 保持 表面 形态 检测 方法 装置 系统
【权利要求书】:

1.一种保持环的表面形态检测方法,其特征在于,包括:

当接收到启动检测的指令时,控制保持环移动,使所述保持环的下方形成检测空间,通过所述检测空间使轮廓传感器扫描所述保持环的表面;

获取所述轮廓传感器采集的所述保持环的表面轮廓数据;

根据所述保持环的表面轮廓数据确定所述保持环的轮廓特征参数;

根据所述保持环的轮廓特征参数确定所述保持环的表面形态。

2.根据权利要求1所述的保持环的表面形态检测方法,其特征在于,所述控制保持环移动,使所述保持环的下方形成检测空间,包括:

将所述保持环升高到预设高度,使所述保持环的下方形成检测空间。

3.根据权利要求1所述的保持环的表面形态检测方法,其特征在于,通过所述检测空间使轮廓传感器扫描所述保持环的表面,包括:

当检测到所述保持环处于水平状态时,通过所述检测空间使所述轮廓传感器扫描所述保持环的表面。

4.根据权利要求3所述的保持环的表面形态检测方法,其特征在于,所述当检测到所述保持环处于水平状态时,通过所述检测空间使所述轮廓传感器扫描所述保持环的表面,包括:

当检测到水平传感器的接收端接收到发射端发射的信号时,通过所述检测空间使所述轮廓传感器扫描所述保持环的表面。

5.根据权利要求1所述的保持环的表面形态检测方法,其特征在于,所述控制保持环移动,使所述保持环的下方形成检测空间后,还包括:

通过喷嘴喷出氮气对所述保持环的表面进行吹扫;

相应的,通过所述检测空间使轮廓传感器扫描所述保持环的表面,包括:

吹扫完成后,通过所述检测空间使所述轮廓传感器扫描所述保持环的表面。

6.根据权利要求1至5任一项所述的保持环的表面形态检测方法,其特征在于,通过所述检测空间使轮廓传感器扫描所述保持环的表面,包括:

将所述轮廓传感器移动到所述保持环所在平面的下方,通过所述检测空间使所述轮廓传感器扫描所述保持环的表面。

7.根据权利要求6所述的保持环的表面形态检测方法,其特征在于,将所述轮廓传感器移动到所述保持环所在平面的下方,包括:

将所述轮廓传感器移动到所述保持环的侧下方,使所述轮廓传感器发射至所述保持环的表面的激光路径与所述保持环的表面呈预设角度。

8.根据权利要求6所述的保持环的表面形态检测方法,其特征在于,将所述轮廓传感器移动到所述保持环所在平面的下方,包括:

通过伸缩机械臂将所述轮廓传感器移动到所述保持环所在平面的下方;所述轮廓传感器与所述伸缩机械臂连接。

9.一种保持环的表面形态检测装置,其特征在于,包括:

形成检测空间模块,用于当接收到启动检测的指令时,控制保持环移动,使所述保持环的下方形成检测空间,通过所述检测空间使轮廓传感器扫描所述保持环的表面;

获取表面轮廓数据模块,用于获取所述轮廓传感器采集的所述保持环的表面轮廓数据;

获取轮廓特征参数模块,用于根据所述保持环的表面轮廓数据确定所述保持环的轮廓特征参数;

确定表面形态模块,用于根据所述保持环的轮廓特征参数确定所述保持环的表面形态。

10.一种保持环的表面形态检测系统,其特征在于,包括:保持环、轮廓传感器和处理器;

所述轮廓传感器,用于扫描所述保持环的表面,采集所述保持环的表面轮廓数据;

所述处理器,用于:

当接收到启动检测的指令时,控制所述保持环移动,使所述保持环的下方形成检测空间,通过所述检测空间使所述轮廓传感器扫描所述保持环的表面;

获取所述轮廓传感器采集的所述保持环的表面轮廓数据;

根据所述保持环的表面轮廓数据确定所述保持环的轮廓特征参数;

根据所述保持环的轮廓特征参数确定所述保持环的表面形态。

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