[发明专利]一种利用平移CUP和接液杯吸盘联动的装置

权利要求书

1.一种利用平移CUP和接液杯吸盘联动的装置，包括CUP清洗箱(1)，其特征在于：所述CUP清洗箱(1)包括CUP清洗箱底板(103)，所述CUP清洗箱底板(103)一侧设置有固定壳体(101)，另一侧所述CUP清洗箱底板(103)内滑动安装有能够为晶圆清洗提供密闭空间的平移壳体(102)；

所述固定壳体(101)一侧设置有接液杯(2)，所述接液杯(2)上环形等距阵列有用于吸附晶圆的吸盘(4)，保证晶圆清洗时的稳定性，所述平移壳体(102)移动能够控制气囊(6)抽、排气，从而控制吸盘(4)对晶圆的吸附和放空。

2.根据权利要求1所述的一种利用平移CUP和接液杯吸盘联动的装置，其特征在于：所述固定壳体(101)上表面对称设置有两组丝杆(10)，所述丝杆(10)两端对称设置有用于支撑的第一耳板(8)，所述丝杆(10)的端头和第一耳板(8)转动连接，所述丝杆(10)表面螺纹连接于移动套(29)，所述移动块(9)通过轴承套设于移动套(29)表面，所述移动块(9)和平移壳体(102)内壁固定连接，所述CUP清洗箱底板(103)两侧位于平移壳体(102)移动位置设置有导向板(5)。

3.根据权利要求2所述的一种利用平移CUP和接液杯吸盘联动的装置，其特征在于：所述丝杆(10)一端延伸至CUP清洗箱(1)外部，且丝杆(10)一端传动连接有驱动部(3)，所述驱动部(3)包括两组第二耳板(301)和转动连接于两组第二耳板(301)之间的主动传动杆(304)，所述主动传动杆(304)表面居中位置安装有RV电机(305)，所述RV电机(305)固定安装于固定壳体(101)外壁，所述主动传动杆(304)表面对称设置有主动伞齿轮(302)，所述丝杆(10)一端固定安装有从动伞齿轮(303)，所述主动伞齿轮(302)和从动伞齿轮(303)啮合，用于驱动丝杆(10)旋转，带动平移壳体(102)移动，从而控制CUP清洗箱(1)的开合。

4.根据权利要求1所述的一种利用平移CUP和接液杯吸盘联动的装置，其特征在于：所述接液杯(2)包括接液杯高杯口(201)和接液杯低杯口(202)，所述接液杯高杯口(201)和接液杯低杯口(202)形成杯体空腔，所述吸盘(4)安装于接液杯低杯口(202)上表面。

5.根据权利要求4所述的一种利用平移CUP和接液杯吸盘联动的装置，其特征在于：所述吸盘(4)设置有若干组，且若干组吸盘(4)一侧均固定连通有吸盘连接管(12)，若干组所述吸盘连接管(12)共同连通有连接管(11)，所述连接管(11)一侧通过输气管(17)和气囊(6)固定连通。

6.根据权利要求5所述的一种利用平移CUP和接液杯吸盘联动的装置，其特征在于：所述气囊(6)设置有两组，利用两组所述气囊(6)为吸盘(4)提供气源，使得真空作用稳定，所述气囊(6)一侧设置有气囊支撑板(13)，两组所述气囊(6)的进气口均固定连通有气囊连接管(16)，所述气囊连接管(16)和输气管(17)固定连通，所述气囊(6)远离气囊连接管(16)一端固定连接有连接轴(25)，两组所述连接轴(25)之间通过连接板(14)相连，所述连接板(14)一侧位于两组气囊(6)之间设置有导杆(15)。

7.根据权利要求6所述的一种利用平移CUP和接液杯吸盘联动的装置，其特征在于：所述平移壳体(102)内壁居中位置固定安装有固定套(26)，所述固定套(26)一侧固定连接有推杆(27)，所述推杆(27)一端固定连接有推动板(28)，所述平移壳体(102)移动至导杆(15)位置时，推动板(28)和导杆(15)一端贴合设置。

8.根据权利要求1所述的一种利用平移CUP和接液杯吸盘联动的装置，其特征在于：所述平移壳体(102)顶部固定安装于平移壳体盖板(20)，所述平移壳体盖板(20)顶部固定安装有支座(19)，所述支座(19)上固定安装有气缸(18)，所述气缸(18)的输出轴端连接有接液杯盖(23)。