[发明专利]一种制冷测试仪器、测试系统和测试方法

说明书

本发明属于晶圆测试技术领域，涉及一种制冷测试仪器、测试系统和测试方法。包括：测试腔体为上端开口的中空结构，测试腔体安装固定在测试设备上端面的安装槽内；样品架沿所述测试腔体上端的开口插入到测试腔体内；样品架固定连接在转动件的下端，转动件与测试腔体滑动连接；第一波纹管和高度调节装置，所述高度调节装置带动所述第一波纹管伸缩，所述转动件转动安装在所述第一波纹管的下端；双接口相对测试设备固定，双接口固定设置在波纹管的上端，液氮沿一个接口依次通过波纹管、转动件后进入到测试腔体内，双接口的另一接口与真空泵连通。本发明使用时能够实现多样品测试，还能够提供芯片测试用的77K环境。

技术领域

本发明属于晶圆测试技术领域，涉及一种制冷测试仪器、测试系统和测试方法。

背景技术

红外光谱是分子能选择性吸收某些波长的红外线，而引起分子中振动能级和转动能级的跃迁，检测红外线被吸收的情况可得到物质的红外吸收光谱，又称分子振动光谱或振转光谱，现如今红外光谱的应用变得越来越广泛，其中，基于红外傅里叶光谱制冷测试仪器就是应用红外光谱生产的仪器。

现有红外傅里叶测试仪器多为常温测试，无法低温多样品测试，测试效率较低。

发明内容

本发明要解决的技术问题在于：提供一种制冷测试仪器、测试系统和测试方法，能够低温多样品测试，提高工作效率。

本发明提出的技术方案为：

一种基于红外傅里叶光谱的制冷测试仪器，包括：

测试腔体，所述测试腔体为上端开口的中空结构，所述测试腔体安装固定在测试设备上端面的安装槽内；

样品架，样品架从上到下设置多个工位，所述样品架沿所述测试腔体上端的开口插入到所述测试腔体内；

转动件，所述样品架固定连接在所述转动件的下端，所述转动件与所述测试腔体滑动连接；

第一波纹管和高度调节装置，所述高度调节装置带动所述第一波纹管伸缩，所述转动件转动安装在所述第一波纹管的下端；

双接口，所述双接口相对测试设备固定，双接口固定设置在第一波纹管的上端，液氮沿双接口的一个接口依次通过第一波纹管、转动件后进入到测试腔体内，双接口的另一接口与真空泵连通。

可选的，所述高度调节装置包括第二波纹管，所述第二波纹管设置在所述第一波纹管的外壁，所述第二波纹管与所述第一波纹管之间形成密闭的容纳空间，所述第二波纹管固定设置连接管，所述连接管与所述容纳空间连通。

可选的，所述高度调节装置包括多个直线驱动装置，所述第一波纹管的上下两端分别设有安装环，所述直线驱动装置设置在上下相对的安装环之间。

可选的，所述测试腔体的外壁设有至少一个密封窗。

可选的，所述测试腔体的上端面设有仪器连接固定台。

可选的，所述转动件与所述第一波纹管之间设有连接轴，所述连接轴的下端与所述转动件固定连接，所述连接轴的上端与所述第一波纹管转动连接。

一种采用上述任意一项所述冷测试仪器的测试系统，还包括：

样品检测模块，样品检测模块对样品架上的样品进行测试；

信号传输模块，信号传输模块用于传输样品检测模块检测的数据；

信号放大模块，信号放大模块将信号传输模块传输的数据放大；

数据处理模块，数据处理模块处理信号放大模块放大的数据；

数据上传模块，数据上传模块将数据处理模块处理的数据上传；

数据检测模块，数据检测模块检测数据上传模块上传的数据。

优选的，所述数据处理模块包括依次连接的检测数据收集单元，检测数据筛选单元，无效数据快速剔除单元，有效数据集合单元，有效数据重新组合单元，有效数据标签导入单元，有效数据存储单元。