[发明专利]一种可抽出式胶泵系统

说明书

本发明提供了一种可抽出式胶泵系统。一种可抽出式胶泵系统，包括：胶泵支架，胶泵支架包括：滑轨，滑轨设有多个，滑轨设于胶泵支架；安装板，安装板设于滑轨；涂胶装置，涂胶装置包括：胶泵，胶泵设有多个，胶泵设于安装板；阀门组件，阀门组件设于安装板；其中，涂胶装置固定在安装板上，涂胶装置随着滑轨滑动抽拉。涂胶装置依靠滑轨滑动，便于涂胶装置的维修与维护，阀门组件控制涂胶装置的通断，操作更加安全。

技术领域

本发明涉及半导体加工技术领域，具体而言，涉及一种可抽出式胶泵系统。

背景技术

在半导体加工领域，通过光刻工艺将掩膜图形转移到晶圆上，但在维修与维护的过程中，涂胶装置设在支架的底部，这使得维修与维护非常不便，因此优化涂胶装置的固定方式，便于维修与维护，是十分必要的。

发明内容

因此，本发明实施例提供一种可抽出式胶泵系统，解决涂胶装置的固定方式，便于胶泵系统的维修与维护。

为实现本发明的目的，本发明提供了一种可抽出式胶泵系统，包括：胶泵支架，胶泵支架包括：滑轨，滑轨设有多个，滑轨设于胶泵支架；安装板，安装板设于滑轨；涂胶装置，涂胶装置包括：胶泵，胶泵设有多个，胶泵设于安装板，阀门组件，阀门组件设于安装板；其中，涂胶装置固定在安装板上，涂胶装置随着滑轨滑动抽拉。

与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：胶泵支架设有滑轨，涂胶装置设置在滑轨上，使得涂胶装置依靠滑轨滑动，便于涂胶装置的维修与维护，阀门组件控制涂胶装置的通断，操作更加安全。

在本发明的一个技术方案中，涂胶装置包括：保护壳，保护壳与胶泵对应设置，其中，胶泵设有胶泵框架，定位销固定在胶泵框架上。

与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：保护壳用于保护胶泵，防止操作人员的手伸进缝隙中发生危险，同时也保护胶泵，防止胶泵受到撞击而损坏。

在本发明的一个技术方案中，保护壳包括：至少一个滑道，至少一个滑道设于保护壳的侧面。

与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：保护壳的侧面设有至少一个滑道，保护壳沿着滑道的方向滑动，便于操作人员进行维修和维护。

在本发明的一个技术方案中，保护壳还包括：定位销，定位销穿过滑道固定在胶泵上，并使保护壳沿着滑道滑动。

与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：保护壳通过定位销固定在胶泵上，保护壳滑动时，定位销设于滑道中，防止保护壳脱离胶泵，操作时更加安全。

在本发明的一个技术方案中，阀门组件包括：第一阀门，第一阀门与胶泵对应设置，用于控制胶泵的通断，第一阀门固定在胶泵支架上；和/或第二阀门，第二阀门与胶泵对应设置，用于控制胶泵的流速。

与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：设置第一阀门和第二阀门，分别对胶泵中胶液的通断和流速进行控制，便于员工的操作，对流速进行控制，防止在喷涂胶液时，喷涂不均。

在本发明的一个技术方案中，阀门组件还包括：至少一个第三阀门，至少一个第三阀门与胶泵对应设置，第三阀门与胶泵相连，并设于胶泵支架的端部；第三阀门设于进气口和出气口；胶泵设有吸入口和流出口；其中，进气口与吸入口通过气管相连，出气口与流出口通过气管相连。

与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：至少一个第三阀门的进气口和出气口控制胶泵中的胶液吸入和流出，能够调整胶液的流动方向和流速，控制的精度更高。

在本发明的一个技术方案中，还包括：过滤器，过滤器设于安装板，用于过滤胶泵中的杂质。

与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：过滤器过滤从胶泵中流出的胶液，去除胶液中的杂质，避免堵塞或腐蚀阀门组件，提高了阀门组件的使用寿命和效果，使得喷涂的效果更好。