[实用新型]基于双X射线管和样品真空腔的小型TXRF装置

权利要求书

1.基于双X射线管和样品真空腔的小型TXRF装置，其特征在于，包括第一X光发射装置(1)、第二X光发射装置(2)、样品真空腔(3)、样品台(4)、X荧光反射体(5)和X荧光探测系统(6)，所述的样品台(4)置于样品真空腔(3)中，X荧光反射体(5)置于样品台(4)上，待测样品置于X荧光反射体(5)上，所述的第一X光发射装置(1)和第二X光发射装置(2)能发射X光从相互垂直的两个方向分别入射样品真空腔(3)，照射放置于X荧光反射体(5)上的待测样品，激发待测样品中的元素产生特征X射线，所述的X荧光探测系统(6)用于接收并测量特征X射线，并根据特征X射线对待测样品中的元素进行定性定量分析。

2.根据权利要求1所述的基于双X射线管和样品真空腔的小型TXRF装置，其特征在于，所述的第一X光发射装置(1)包括第一X光管(11)、第一波导管(12)、第一高压电源(13)和第一光学调节平台(14)，所述的第一X光管(11)和第一波导管(12)均安装在第一光学调节平台(14)上，第一波导管(12)位于第一X光管(11)的前端，第一高压电源(13)与第一X光管(11)连接，所述的第一高压电源(13)能向第一X光管(11)提供电源，使第一X光管(11)产生X光经第一波导管(12)后射出。

3.根据权利要求2所述的基于双X射线管和样品真空腔的小型TXRF装置，其特征在于，所述的第二X光发射装置(2)包括第二X光管(21)、第二波导管(22)、第二高压电源(23)和第二光学调节平台(24)，所述的第二X光管(21)和第二波导管(22)均安装在第二光学调节平台(24)上，第二波导管(22)位于第二X光管(21)的前端，第二高压电源(23)与第二X光管(21)连接，所述的第二高压电源(23)能向第二X光管(21)提供电源，使第二X光管(21)产生X光经第二波导管(22)后射出。

4.根据权利要求3所述的基于双X射线管和样品真空腔的小型TXRF装置，其特征在于，所述的第一高压电源(13)和第二高压电源(23)连接电源控制系统，电源控制系统连接控制与显示系统；X荧光探测系统(6)依次连接信号传输系统、数据处理系统和控制与显示系统，所述的电源控制系统用于控制第一高压电源(13)和第二高压电源(23)的通断与功率，控制与显示系统用于向电源控制系统输入指令以及显示数据处理系统和电源控制系统传来的数据，所述的信号传输系统用于将X荧光探测系统(6)的检测数据传递至数据处理系统，数据处理系统用于处理检测数据并将处理后的检测数据传递至控制与显示系统。

5.根据权利要求4所述的基于双X射线管和样品真空腔的小型TXRF装置，其特征在于，所述的样品真空腔(3)为方形容器，顶部设有用于对接X荧光探测系统(6)的真空套管(31)，X荧光探测系统(6)的X荧光探测器从真空套管(31)伸入至样品真空腔(3)内，样品真空腔(3)的四个侧壁有四个窗口作为第一X光发射装置(1)、第二X光发射装置(2)发射的X射线的入口和出口。

6.根据权利要求5所述的基于双X射线管和样品真空腔的小型TXRF装置，其特征在于，样品真空腔(3)的每个窗口边缘用聚酰亚胺与样品真空腔(3)侧壁密封，聚酰亚胺厚度为50μm。

7.根据权利要求6所述的基于双X射线管和样品真空腔的小型TXRF装置，其特征在于，所述的样品真空腔(3)设有真空管道接口，样品真空腔(3)通过真空管道接口与真空泵(32)连接，所述的真空泵(32)用于对样品真空腔(3)抽真空。

8.根据权利要求7所述的基于双X射线管和样品真空腔的小型TXRF装置，其特征在于，所述的样品真空腔(3)置于能旋转的角位台(7)上。

9.根据权利要求8所述的基于双X射线管和样品真空腔的小型TXRF装置，其特征在于，所述的第一X光管(11)的阳极靶为铬，第二X光管(21)的阳极靶位为铑。

10.根据权利要求9所述的基于双X射线管和样品真空腔的小型TXRF装置，其特征在于，所述的第一波导管(12)和第二波导管(22)使用高度抛光的石英玻璃作为波导反射体；X荧光探测器为薄铍窗口的硅漂移探测器；待测样品表面到X荧光探测器探头表面的距离为2mm。