[实用新型]一种硅片搬运机构及硅片测试装置

权利要求书

1.一种硅片搬运机构，其特征在于，包括：

安装座；

旋转气缸，其设在所述安装座，所述旋转气缸具有旋转连接端；

吸盘，其具有相对设置的连接面和用于抓取硅片的吸附面，所述连接面与所述旋转连接端连接，所述吸盘设有用于检测所述吸附面有无硅片的感应传感器；

平移驱动组件，其包括可驱动移动的平移连接端，所述平移连接端与所述安装座连接，用于驱使所述安装座沿垂直于所述吸盘的旋转轴向的方向移动。

2.根据权利要求1所述的硅片搬运机构，其特征在于，所述平移驱动组件为直线模组，所述安装座设在所述平移驱动组件的滑台。

3.根据权利要求2所述的硅片搬运机构，其特征在于，还包括控制器；所述感应传感器为接近传感器；所述旋转气缸和所述接近传感器分别与所述控制器电连接。

4.根据权利要求3所述的硅片搬运机构，其特征在于，所述吸盘设有用于控制所述吸盘气路通断的电磁阀，所述电磁阀和所述直线模组的电机分别与所述控制器电连接。

5.根据权利要求1所述的硅片搬运机构，其特征在于，所述吸盘为伯努利吸盘。

6.根据权利要求1所述的硅片搬运机构，其特征在于，所述旋转气缸的上表面与所述安装座通过螺栓连接，所述吸盘的连接面朝上设置，并与所述旋转气缸的旋转连接端通过螺栓连接。

7.一种硅片测试装置，其特征在于，包括测试旋转台、上料输送线、下料输送线以及如权利要求1至6任一所述的硅片搬运机构，所述测试旋转台的旋转轨迹上依顺序设有上料工位、测试工位和下料工位，所述上料输送线与所述上料工位之间设有所述硅片搬运机构，所述下料工位与所述下料输送线之间设有所述硅片搬运机构。

8.根据权利要求7所述的硅片测试装置，其特征在于，所述测试旋转台设有多块呈圆周排布的硅片支撑板，多块所述硅片支撑板分别对应于上料工位、测试工位和下料工位设置。

9.根据权利要求8所述的硅片测试装置，其特征在于，所述硅片支撑板设有四块，所述上料工位和所述下料工位以所述测试旋转台对称设置。

10.根据权利要求7所述的硅片测试装置，其特征在于，所述上料输送线和所述下料输送线为皮带输送机。