[实用新型]一种硅片搬运机构及硅片测试装置

说明书

本实用新型公开一种硅片搬运机构及硅片测试装置，属于硅片加工设备技术领域，在硅片搬运机构中，旋转气缸设在安装座且具有旋转连接端；吸盘具有相对设置的用于连接旋转连接端的连接面和用于抓取硅片的吸附面，吸盘设有用于检测吸附面有无硅片的感应传感器；平移驱动组件包括可驱动移动的平移连接端，平移连接端与安装座连接以驱使安装座沿垂直于吸盘的旋转轴向的方向移动。在硅片测试装置中，测试旋转台的旋转轨迹上依顺序设有上料工位、测试工位和下料工位，上料输送线与上料工位之间、下料工位与下料输送线之间均设有硅片搬运机构。通过旋转气缸带动吸盘快速旋转，高效完成硅片90°旋转上料或下料，简化结构，降低成本，方便维护，故障率低。

技术领域

本实用新型属于硅片加工设备技术领域，特别涉及一种硅片搬运机构及硅片测试装置。

背景技术

硅片在制造完成后需要进行测试，如发电效率测试，以便对硅片进行等级分类。在效率测试装置运行的过程中，利用搬运机构来完成硅片的上料或下料，具体的，搬运机构的旋转部件包括伺服电机、同步带组件(同步带主轮、同步带和同步带从轮)，通过伺服电机驱动同步带组件工作，令吸盘能随同步带从轮旋转，促使吸盘能带动硅片转动，以实现将硅片90°旋转并上料或下料。

可是，旋转部件结构较为复杂，不利于维护，电机成本高，能耗高，旋转部件的运行速度有限，导致效率测试整线的节拍提高受限；而且，同步带的张紧力在长时间使用后出现一定的削减，影响搬运机构的稳定性，故障率高，此外，同步带在长期使用中会积累粉尘，需频繁清洁，维护不方便。

实用新型内容

本实用新型目的在于提供一种硅片搬运机构，通过旋转气缸带动吸盘快速旋转，从而高效地完成硅片90°旋转上料或下料，整体结构得到简化，制造成本和能耗得到降低，方便维护，故障率低。

此外，本实用新型还提供一种包括上述硅片搬运机构的硅片测试装置。

为解决上述技术问题所采用的技术方案：

第一方面，本实用新型提供一种硅片搬运机构，包括：

安装座；

旋转气缸，其设在所述安装座，所述旋转气缸具有旋转连接端；

吸盘，其具有相对设置的连接面和用于抓取硅片的吸附面，所述连接面与所述旋转连接端连接，所述吸盘设有用于检测所述吸附面有无硅片的感应传感器；

平移驱动组件，其包括可驱动移动的平移连接端，所述平移连接端与所述安装座连接，用于驱使所述安装座沿垂直于所述吸盘的旋转轴向的方向移动。

本实用新型提供的硅片搬运机构至少具有如下的有益效果：在平移驱动组件运行过程中，安装座会带动旋转气缸和吸盘一并直线运动，以便实现硅片在输送线和效率测试装置之间转移，而且，可以借助感应传感器检测吸盘是否已吸附硅片，避免在吸附面处无硅片的时候出现旋转气缸做无用功，有助控制旋转气缸直接驱动吸盘带着硅片快速进行90°旋转运动，从而高效率地完成硅片90°旋转上料或下料工作；采用旋转气缸替代现有伺服同步带结构，优化硅片搬运机构，方便维护，制造成本和能耗低，而且，旋转气缸响应快，动作迅速，有助于提高效率测试整线的节拍。

作为上述技术方案的进一步改进，所述平移驱动组件为直线模组，所述安装座设在所述平移驱动组件的滑台。如此设置，令平移驱动组件具有定位精度高、速度快和承载能力大、行程长等的优点，能高精度控制吸盘的位置，从而完成硅片的精确上下料工作。

作为上述技术方案的进一步改进，所述硅片搬运机构还包括控制器；所述感应传感器为接近传感器；所述旋转气缸和所述接近传感器分别与所述控制器电连接。当吸盘吸附着硅片，便会触发接近传感器，让控制器控制旋转气缸工作，令旋转气缸直接带动吸盘连同硅片一并旋转，实现旋转气缸的自动控制；采用非接触式检测的方式，可避免硅片受损。