[实用新型]一种五轴加工中心加工光刻机支座的工装夹具

权利要求书

1.一种五轴加工中心加工光刻机支座的工装夹具，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)上分别设置有若干个底部支撑柱(2)、侧面定位柱、以及螺纹压紧件；所述底部支撑柱(2)用于支撑光刻机支座(23)的底面；所述侧面定位柱位于所述光刻机支座(23)的一侧，其沿着光刻机支座(23)的边缘轮廓分布，且用于顶紧所述光刻机支座(23)的侧边；所述螺纹压紧件分为两组，一组用于压紧光刻机支座(23)的顶面，另一组用于压紧光刻机支座(23)的底部上表面。

2.如权利要求1所述的一种五轴加工中心加工光刻机支座的工装夹具，其特征在于：所述侧面定位柱包括设置在底板(1)上的固定部(3)，以及位于固定部(3)上的调节部；所述调节部为贯穿所述固定部(3)的定位杆(4)，所述定位杆(4)与所述固定部(3)之间螺纹连接。

3.如权利要求1所述的一种五轴加工中心加工光刻机支座的工装夹具，其特征在于：还包括有用于压紧所述光刻机支座(23)的底部上表面的底部预压紧件；所述底部预压紧件包括设置在底板(1)上的固定座(11)，位于固定座(11)上方的安装柱(12)，以及设置在安装柱(12)上的、用于压紧光刻机支座(23)底面的压紧杆(13)；所述安装柱(12)的下端连接有旋转轴(25)，所述固定座(11)内设置有与所述旋转轴(25)匹配的凹槽(24)，所述旋转轴(25)延伸至所述凹槽(24)内；所述旋转轴(25)位于所述固定座(11)内的部分上套装有限位环(17)，所述固定座(11)内设置有与该限位环(17)配合的环状槽(19)，所述环状槽(19)与所述凹槽(24)连通；所述限位环(17)的外壁上设置有限位块(18)，所述固定座(11)的内壁上设置有与该限位块(18)配合的竖槽(22)，所述竖槽(22)的下端连通有水平的弧形槽(21)，所述竖槽(22)与所述弧形槽(21)连通形成L形结构；当所述限位块(18)位于所述弧形槽(21)内时，所述压紧杆(13)压紧在所述光刻机支座(23)的表面。

4.如权利要求3所述的一种五轴加工中心加工光刻机支座的工装夹具，其特征在于：所述环状槽(19)内位于所述限位环(17)的下方设置有套装在旋转轴(25)外的复位弹簧(20)。

5.如权利要求1所述的一种五轴加工中心加工光刻机支座的工装夹具，其特征在于：所述底板(1)上设置有浮动定位件；所述浮动定位件靠近所述光刻机支座(23)的边缘处设置；所述浮动定位件包括设置在底板(1)上的外套筒(8)，以及位于外套筒(8)内的、与其滑动连接的伸缩杆(9)；所述伸缩杆(9)的上端用于支撑所述光刻机支座(23)的底面；所述伸缩杆(9)下端设置有卡盘(15)；所述卡盘(15)与所述外套筒(8)内壁之间滑动连接；所述外套筒(8)内位于所述卡盘(15)的下方设置有调节弹簧(16)；所述外套筒(8)上螺纹连接有定位螺栓(10)；所述定位螺栓(10)的端部顶紧在所述伸缩杆(9)的外壁上。

6.如权利要求1所述的一种五轴加工中心加工光刻机支座的工装夹具，其特征在于：所述螺纹压紧件包括设置在所述底板(1)上的固定杆(5)，以及套装在固定杆(5)上的压板(6)；所述固定杆(5)贯穿所述光刻机支座(23)上的镂空处，所述压板(6)位于所述光刻机支座(23)的上方；所述固定杆(5)的上部设置有螺纹，其上螺纹连接有用于将压板(6)压紧在所述光刻机支座(23)表面的螺母(7)。

7.如权利要求3所述的一种五轴加工中心加工光刻机支座的工装夹具，其特征在于：所述安装柱(12)上设置有手柄(14)。