[其他]在一块半导体晶片上涂盖一层感光材料的方法及装置

权利要求书

1、一种在半导体材料的晶片上涂敷一层感光材料的方法，其中液体状感光材料被涂敷在晶片上，然后晶片旋转以获得所要求的该层的厚度，存在于晶片边缘的感光材料由一被引向这边缘的液体喷流将感光材料溶解，其特征在于该用来将感光材料溶解的液体喷流首先被引向半导体材料的晶片以外的地方，然后该液体喷流才被引向晶片的边缘，接着该液体喷流再次被引向晶片以外的地方。

2、一种用来实现权利要求1所述的方法的装置，包括一可旋转的台面，将半导体材料的晶片固定在该台面的装置及一个供应适于溶解感光材料的液体的装置，该供应装置有一个附有出口喷嘴的管状部分供应溶解感光材料的液体，而该附有出口喷嘴的管状部分被布置成可以相对于可旋转的台面作横向移动，其特征在于附有出口喷嘴的管状部分是可摆动地安装的并且有移动装置去摆动管状部分，将它从液体喷流朝向半导体晶片边缘以外的位置摆动到液体喷流朝向边缘的位置，然后再一次朝向边缘以外。