[发明专利]一种新型的快速抽空方法

说明书

本发明属于一种抽真空的方法。

现采用的旋片式和扩散式抽真空的方法所需时间较长，用排液法、即先向被抽元、器件灌液体，再将液体抽出的方法，又会对被抽空件造成污染。

本发明提供了一种克服了上述缺点，采用真空泵对被抽空件间接抽空的方法。

本发明包括真空容器，被抽空件、连通阀和泵。其主要特征是间接快速抽空，泵先对一系列真空容器抽空，被抽空件用快速接头与一多通阀连接，然后用多通阀依次接通真空容器，使被抽件迅速达到所要求的真空度。

以下结合附图对本发明进行解释：

附图为本发明的原理图和一个实施例的原理图。

见附图，本发明采用先将几个一定容量的真空容器〔1a〕、〔1b〕至〔1n〕用泵〔4a〕、〔4b〕至〔4n〕抽空到真空度按顺序增加的真空容器然后，将被抽空件〔2〕通过多通阀〔3〕依次与〔1a〕、〔1b〕至〔1n〕连通。根据平衡原理，被抽空件〔2〕的真空度将会依次递增，且决定于真空容器〔1〕的容积和真空度，以及被抽空件本身的空积，抽空时间决定于多通阀〔3〕的转换时间，加上很小的适当的平衡时间。

本发明亦可用于快速向需加压件加压、原理相同，不同的是不用泵对容器抽空是用泵对容器加压。

附图是本发明的一个实施例：在采用负压法的氦质谱仪〔5〕检漏时，要求先将被检件〔2〕抽空，但用于流水生产线时，则要求在较短的时间（一般为十几秒）将被检件抽空到10^-1～10^-2τ，采用常规抽真空办法是很难做到的，使用本发明则可达到要求，其实施过程是这样的，先用泵〔4a〕、〔4b〕至〔4n〕分别对应对真空容器〔1a〕、〔1b〕至〔1n〕抽空，且〔1a〕、〔1b〕至〔1n〕的真空度是依次递增的，与真空容器相接有一多通阀〔3〕、其中〔3a〕、〔3b〕至〔3n〕分别是与对应的真空容器相接的，被抽空件〔2〕与〔3〕之间有一快速管按头连接，多通阀〔3〕最后一个通道与氦质谱仪〔5〕或其他检测仪连接。当操作多通阀由〔3a〕一直到〔3n〕时，被测件的真空度与〔1n〕的真空度一致，这时多通阀通道打到〔3X〕，使〔2〕与〔5〕连接，即可检到〔2〕的泄漏情况。

本发明的主要优点是抽真空或加压时间非常之短，适用于现代化流水生产线上进行检测。