[其他]泄漏检测器以及其工作方法

权利要求书

1、根据对流原理工作的泄漏检测器，有一个第一高真空泵(9)，其进口侧(8)与泄漏检测器的进口(1)相连；一个第二高真空泵(12)，其进口侧(13)与一台质谱仪(14)相连；和一个预真空泵(19)，其进口侧(18)与高真空泵(9，12)的出口侧(15，16)相连，其特征是，有一个预真真空泵，其进口侧，一个经过有伺服阀(24)的管路(23)与泄漏检测器的进口(1)相连，另一路经过有节流阀(29)的管路(27)与第一预真空泵(19)的进口侧(18)相连。

2、按照权利要求1的泄漏检测器，其特征是，在连接泄漏检测器进口（1）与第一高真空泵（9）的进口侧（8）的管路（2）上串联设置有伺服阀（4）和一个节流阀（3）。

3、按照权利要求2的泄漏检测器，其特征是，设置有另一条管路（5），它平行于有伺服阀（4）和节流阀（3）的管路（2），管路（5）上有另一个伺服阀（6）。

4、按照权利要求1的泄漏检测器，其特征是，可设置带有一个可调节的节流阀的单一管路来代替连接泄漏检测器的进口（1）与第一个高真空泵（9）的进口侧（8）的管路（2，5）。

5、按照权利要求1至4任何一项的泄漏检测器，其特征是，设置有一条平行于连接预真空泵（19，26）的进口侧（18，25）带有节流阀（29）的管路（27）并且有一个伺服阀（30）的管路（28）。

6、按照权利要求5的泄漏检测器，其特征是，可只设置一条带有一个可调节节流阀的管路来代替带有节流阀（29）和阀（30）的管路（27，28）。

7、按照上述权利要求中的任何一项权利要求的泄漏检测器，其特征是，第二预真空泵（26）的抽气能力比第一预真空泵（19）的抽气能力大。

8、按照上述权利要求中的任何一项权利要求的泄漏检测器，其特征是，尽管当压力差大约为1000巴时，位于连接预真空泵（19，26）的进口侧（18，25）的管路（27）上的节流阀（29）的泄漏率大约为0.1毫巴/秒。

9、按照上述权利要求中的任何一项权利要求的泄漏检测器，其特征是，这两个高真空泵（9，12）是涡轮-分子泵，它们的转子是设置在一根共同轴上，接口（13。18）相对地设置在该泵系统的两外端面，用来连接质谱仪（14）和泄漏检测器的进口（1），在工作时气体从外向内流入这两个泵，并且在这两个泵之间设有一个共同的预真空接口（22）。

10、按照权利要求1带有一个与泄漏检测器的进口（1）相连的试件（32）的泄漏检测器的工作方法，其特征是，首先建立泄漏检测器的进口（1）与第二预真空泵（25）之间的连接。

11、按照权利要求10使得按照权利要求2的泄漏检测器工作的方法，其特征是，在建立泄漏检测器的进口（1）与第二预真空泵（26）的连接后，并且当试件（32）内的压力降到大约100毫巴后，再经过节流阀（3）和阀（4）建立进口（1）和第一高真空泵（9）的连接。

12、按照权利要求11使得按照权利要求3的泄漏检测器工作的方法，其特征是，当试件（32）内的压力进一步下降至0.1毫巴后，无节流地接通泄漏检测器的进口（1）与第一高真空泵（9）之间的连接。

13、按照权利要求10使得按照权利要求5的泄漏检测器工作的方法，其特征是，当试件（32）内的压力降至大约为0.1毫巴后，关闭泄漏检测器的进口（1）与第二预真空泵（26）的进口侧（25）之间的连接，无节流地接通泄漏检测器的进口（1）与第一高真空泵（9）的连接以及预真空泵（19，26）的进口侧（18，25）之间的连接。

14、按照权利要求13使得按照权利要求3和5的泄漏检测器工作的方法，其特征是，当压力大约为10^-2毫巴时关闭预真空泵（19，26）的进口侧（18，25）之间的无节流连接。