[发明专利]用双波长激光进行外差干涉测量绝对距离系统

权利要求书

1、用双波长激光进行外差干涉测量绝对距离系统，其特征在于该系统是从激光头发出的两束偏振方向相互垂直的线偏振光经过声光调制后被衍射，该衍射光通过扩束镜后被扩束准直，经声光调制器衍射后的零级光作为测量光束入射到测量靶镜，经测量靶镜反射后入射到分光镜上，经声光调制器衍射后的+1级光作为参考光，经反射镜反射后入射到上述分光镜上，并与上述测量光汇合形成外差干涉；从分光镜上出射两束光，一束光通过一具有偏振选择光电接收系统后获得一个波长的外差干涉信号，另一束光通过另一具有偏振选择光电接收系统后，获得另一波长的外差干涉信号，这二个外差干涉信号进入信号处理单元，即可获得被测距距离值。

2、如权利要求1所述的测量绝对距离系统，其特征在于其中所述的信号处理单元是用电子混频电路将光电信号与一个接近声光调制器驱动频率信号的本振信号进行混频，经混频后的低频信号经相位比较单元获得上述两光电信号的相位差，该相位差与输入的初估值一起经数据处理单元，获得被测距离值。