[发明专利]用于制作供压制特定光盘用的模具的主盘及其制作方法

说明书

本发明涉及用于制作为压制特定光盘所使用的模具的原始主盘。它还涉及制作这些主盘的方法以及用这些主盘制作的压模和用这些压模和这些主盘所制作的光盘。

目前已知有很多种可用于制作光盘的压模的制作方法。其中之一是在一玻璃底片或底盘上沉积一正片型的光敏树脂层，所谓的正片型光敏树脂能够在适当的定向辐射作用下改变其在接受到该辐射作用的区域中的性质。当该树脂层受到一激光光束的照射或扫描时，该激光光束可在该树脂层中记录或写人反映所要录制到该盘上的信息或数据的潜象。利用化学方法溶解已进行了录制的树脂区域而显形该树脂层，便可以形成相应于再现信号的一系列的微型沟槽或微型凸点群。

由此构成的整个器件可作为一个原始主盘。然后在该主盘上用精细金属，特别是银被复或贴面，且最好是在真空中通过蒸发沉积而形成。然后利用电镀技术，在已被复有精细金属层的主盘上沉积一镍层。这样形成的镍层在其表面亦会产生微起伏或微隆起，它们是前述的微型沟槽或微型凸点群的严格的复制物。这些微起伏或微隆起以负片形式映着记录在主盘上的信息或数据。在将镍层从主盘上分离下来之后，由于这一分离将使精细金属层不再存在。由此可得到一个由镍构成的印模，通过压制适当的塑料材料，特别是聚碳酸酯，便可以用它制得可用于光读出的所需要的光盘。在将模具与所制得的主盘相分离之后，后者将被消毁。

而且，这种主盘是不能用光盘读出器读取的。

本发明的目的是要克服前述的种种缺点，提供出能够由光盘读出器进行读取的原始主盘，而且还可以无需任何后续的处理和工艺，而用这种主盘多次制作所需的新的模具。为了实现这一目的，本发明提供了一种用于制作为压制特定光盘所使用的模具的主盘，它包含由一底片构成的第一层，在其表面处设有第二层，第二层具有反映着所要复制信息的一系列微型沟槽，其特征在于，所述的一系列微型沟槽是由可在近红外区产生反射的硬质导电材料构成的。在一个最佳实施例中，所述硬质导电材料是由锆、铪或钛的氮化物或碳氮化物中选择出的。

这种主盘的一个特征是，底片或称底盘可用铝制作。

本发明的主盘的另一个特征是，底片或称底盘亦可由已经回火处理的或韧化的和/或脱碱的玻璃制作。

根据本发明的一个特定实施例，反映信息的一系列的微型沟槽或微型凸点是在可在近红外区产生反射的硬质导电材料层(9)的表面上形成的。

根据本发明的另一个特定实施例，主盘的底片或称底盘由用于形成一系列微型沟槽的同种材料(9)形成。

根据本发明的主盘的一个特征，可在近红外区产生反射的硬质导电材料可以是氮化钛。

根据本发明的主盘的另一个特征，微型沟槽的深度可介于大约500至2000埃之间，主盘的总体或称综合厚度可介于大约1至5毫米之间，主盘的直径可介于大约150至200毫米之间。

本发明还提供了制作所述主盘的若干种制作方法。

根据本发明构造的一种方法包括，在一基片上沉积一层可在近红外区产生反射的硬质导电材料。

根据该方法的一个特征，可以近红外区产生反射的硬质导电材料可为锆、铪或钛的氮化物或碳氮化物，仅在表面处导电的可在近红外区产生反射的硬质陶瓷，或是仅在表面处导电的可在近红外区产生反射的硬质玻璃等等；在这种可在近红外区产生反射的硬质导电材料层上沉积一层光敏树脂；通过已根据所要复制的信号进行了调制的光束的运动或移动，将所要复制的信息或数据作为一种潜象记录入该光敏树脂层中；除去树脂的曝光区，这种除去可产生一系列的微型沟槽；将信息传递进入可在近红外区产生反射的硬质导电材料层并除去残留的树脂区。

在这一方案中，可在近红外区产生反射的硬质导电材料层的厚度至少应为1500埃。

制作本发明的主盘的另一种方法是，当基片是用与形成微型沟槽的材料相同的、可在近红外区产生反射的硬质导电材料构成时，可省略沉积在近红外区产生反射的硬质导电材料层的步骤并可将信息传递进入该基片。

当微型沟槽仅在可在近红外区产生反射的硬质导电材料层的表面形成时，制作这种主盘的方法包括，在基片上沉积一层光敏树脂，通过已根据所要复制的信号进行了调制的光束的运动或移动，而使所要复制的信息记录人该光敏树脂层，除去被曝光的树脂区，将信息传递进入基片，然后除去残留的树脂区，并至少沉积一层可在近红外区产生反射的硬质导电材料。

根据本发明的主盘的制作方法的一个特征，该光束可为激光光束，光敏物质的除去可通过化学浸蚀或利用氧等离子体的浸蚀来实施，而所录制信息的传递可通过化学蚀刻法或利用激活的等离子体的蚀刻法来实施。