[发明专利]钨合金电镀用的光亮剂及电镀方法无效
申请号: | 96105558.8 | 申请日: | 1996-01-31 |
公开(公告)号: | CN1138637A | 公开(公告)日: | 1996-12-25 |
发明(设计)人: | W·J·韦泽尼克;S·马丁 | 申请(专利权)人: | 恩索恩OMI公司 |
主分类号: | C25D3/56 | 分类号: | C25D3/56 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 谭明胜 |
地址: | 美国密*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 合金 电镀 光亮剂 方法 | ||
1.一种用于电镀光亮钨合金用的电解质溶液,它包括:
有效用量的钨离子;
有效用量的一种金属离子,它与电镀液中的钨相配伍,电镀出钨合金,其选自于镍、钴、铁和它们的混合物;
一种或多种络合剂;及
有效用量的一种可溶于电镀液的烷氧基化羟基炔,它使得从该电镀溶液电镀得到的钨合金电镀层光亮。
2.权利要求1的电镀液,其中烷氧基化羟基炔有下面化学式:
(R1)X-C≡C-(R2)y,其中:
R1为H、烷基或烷氧基醇;
R2为H、烷基或烷氧基醇;又
至少R1或R2之一是一种含有1-4个碳原子基团或其混合基团的烷氧醇,其含量范围为1至100摩尔分子的烷氧基X和/或Y。
3.权利要求1的电镀液,其中烷氧基化羟基炔选自烷氧基化丁炔二醇、烷氧基化炔丙醇、烷氧基化十二碳炔二醇、烷氧基化辛炔一醇或二醇、烷氧基化四甲基癸炔二醇、烷氧基化二甲基辛炔二醇和它们的混合物。
4.权利要求1所述的电解质溶液,其中烷氧基化羟基炔有下面化学式。
其中m+n之和是应至少这样数量的环氧乙烷摩尔数,它可保证电解质的溶解度。
5.权利要求4的电解质溶液,其中m+n是在约10至100。
6.权利要求4的电解质溶液,其中m+n等于约30。
7.权利要求1的电解质溶液,其中烷氧基化羟基炔的有效用量是约1mg/l-10g/l范围。
8.权利要求4的电解质溶液,其中烷氧基化羟基醇的有效用量是约3mg/l至约1g/l。
9.权利要求1的电解质溶液,其中烷氧基化羟基炔的有效用量是约5mg/l至约500mg/l范围。
10.一种用于电镀光亮钨合金的电解质水溶液,它包括:
一种有效用量的钨离子;
一种有效用量的金属离子,它与电镀液中的钨相配伍而电镀出钨合金,所述金属离子选自镍、钴、铁和它们的混合物;
一种或多种络合剂;及
一种有效用量的光亮剂,它选自烷氧基化丁炔二醇、烷氧基化炔丙醇、烷氧基化十二碳炔二醇、烷氧基化辛炔一醇或二醇、烷氧基化四甲基癸炔二醇、烷氧基化二甲基辛炔二醇和它们的混合物。
11.权利要求10的电解质水溶液,其中所述光亮剂的有效用量范围是约1mg/l至约10g/l。
12.权利要求10的电解质水溶液,其中所述光亮剂的有效用量是约3mg/l至1g/l。
13.权利要求10的电解质水溶液,其中所述光亮剂的有效用量是约5mg/l至500mg/l。
14.权利要求10的电解质水溶液,其中所述烷氧基化四甲基癸炔二醇有下式:
其中m+n之和应选自至少这样的摩尔分子数目范围,使得此光亮剂在镀液溶解。
15.权利要求14的电解质水溶液,其中所述光亮剂的有效用量范围是约1mg/l至约10g/l。
16.权利要求14的电解质水溶液,其中所述光亮剂的有效用量范围是从约3mg/l至约1g/l。
17.权利要求14的电解质水溶液,其中所述光亮剂的有效用量范围是约5mg/l至500mg/l。
18.一种电镀制备光亮钨合金镀层的方法,它包括:使用一种电镀出钨合金的电解质溶液,该溶液含有:
一种有效用量的钨离子;一种有效用量的金属离子,它与镀液中的钨离子相配伍电镀出钨合金层,所述金属离子选自镍、钴、铁和它们的混合物;一种或多种络合剂;一种有效用量的可溶于镀液的烷氧基化羟基炔光亮剂;
从所述电镀液中将光亮钨合金覆层电镀到基体上。
19.权利要求18的方法,其中烷氧基化羟基炔选自烷氧基化丁炔二醇,烷氧基化炔丙醇、烷氧基化十二碳炔二醇、烷氧基化辛炔一醇或二醇、烷氧基化四甲基癸炔二醇、烷氧基化二甲基辛炔二醇和它们的混合物。
20.权利要求18的方法,其中烷氧基化羟基炔有下式:其中m+n之和约为10至100。
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