[发明专利]紫外线可固化的组合物和从其制备固化产物图案的方法

权利要求书

1、紫外线可固化的组合物，包含：

(a)基于组合物总重量的0.01-20wt％的N-取代的4-(邻-硝基苯基)二氢吡啶；和

(b)具有通式

(R₂SiO_2/2)_a(RSiO_3/2)_b的硅氧烷聚合物，其中各R单独地选自氢原子和C₁-C₈烃基，其中RSiO_3/2中的R是氢原子的结构部分和其中R₂SiO_2/2中一个或两个R是氢原子的结构部分之总和是RSiO_3/2单元和R₂SiO_2/2单元的至少5％；和0≤a≤1，0≤b≤1，a+b＝1；其中，键接于R₂SiO_2/2和RSiO_3/2各自的硅原子的至少一个二价氧原子还键接于另一硅原子以形成硅氧烷键。

2、权利要求1的紫外线可固化的组合物，它进一步含有(c)含有羟基的交联剂，交联剂选自具有平均至少两个硅烷醇基(SiOH)/每分子的硅烷化合物，具有平均至少两个硅烷醇基/每聚合物分子的硅氧烷聚合物和水。

3、权利要求1的紫外线可固化的涂料组合物，其中N-取代的4-(邻-硝基苯基)二氢吡啶是以下定义的化合物：其中键接于二氢吡啶的1位的取代基选自烷基，链烯基，芳基和芳烷基；其中键接于二氢吡啶的2位和6位的取代基是具有1-3个碳原子的烃基；和其中键接于二氢吡啶的3位和5位的取代基是具有1-4个碳原子的烷氧基的烷氧基羰基。

4、根据权利要求1所要求的紫外线可固化的组合物，其中硅氧烷聚合物(b)具有从(HRSiO_2/2)_a(RSiO_3/2)_b，(R₂SiO_2/2)_a(HSiO_3/2)_b，(HSiO_3/2)_b和(HSiO_3/2)_a(RSiO_3/2)_b中选择的通式。

5、权利要求1的紫外线可固化的组合物，其中硅氧烷聚合物(b)含有至少两个硅烷醇基/每分子。

6、权利要求1的紫外线可固化的组合物，其中另外还存在溶剂。

7、形成与光-掩模的负片对应的固化产物图案的方法，该方法包括：

(A)将权利要求1或2的紫外线可固化的组合物涂敷在基底上

(B)在涂层和紫外线辐射源之间放置部分遮挡紫外线辐射的掩模，

(C)用波长在200-400nm之间的紫外线辐射该涂料组合物，

(D)在0-200℃的温度下加热被辐射过的涂层，和

(E)通过与溶剂接触，溶解和除去任何未固化的组合物。

8、权利要求7的方法，其中涂层在相对湿度为10％或10％以上的气氛下于0-100℃的温度被辐射。

9、权利要求7的方法，其中涂层一直被辐射到至少10％的存在于可固化组合物中的N-取代的4-(邻-硝基苯基)二氢吡啶被转化成碱为止。

10、权利要求7的方法，其中在用紫外线辐射涂层之前将涂层加热至150℃或150℃以下的温度。