[发明专利]在导向套筒内表面形成硬质碳膜的方法

权利要求书

1.一种在导向套筒的内表面形成硬质碳膜的方法，所述该导向套筒在轴方向具有中心开口且大体为圆筒状，其一端的外周为锥面，具有和被加工件滑动接触的内表面和开槽：当装在自动车床上时，插入上述中心开口的被加工件在其保持作用下可以在切削工具附近旋转并沿轴的方向滑动，上述方法的特征在于：

上述导向套筒被放置于具有气体导入口和排气口与阳极和灯丝的真空槽中；

在该导向套筒的形成上述内表面的中心开口中插入辅助电极并将该电极接到地电位；

在将上述真空槽中排气后由上述气体导入口将含碳的气体导入该真空槽中；

在上述导向套筒经电抗器被施加上直流电压的同时，在上述阳极上施加直流电压，上述灯丝上施加交流电压，上述真空槽中产生等离子体，利用等离子体CVD法在上述导向套筒的上述内表面形成氢化非晶碳的硬质碳膜。

2.一种在导向套筒的内表面形成硬质碳膜的方法，所述导向套筒在轴方向具有中心开口且大体为圆筒状，其一端的外周为锥面，具有和被加工件滑动接触的内表面和开槽；当装在自动车床上时，插入上述中心开口的被加工件在其保持作用下可以在切削工具附近旋转并沿轴的方向滑动，上述方法的特征在于：

上述导向套筒被放置于具有气体导入口和排气口的真空槽中；

在该导向套筒的形成上述内表面的中心开口中插入辅助电极并将该电极接到地电位；

在将上述真空槽中排气后由上述气体导入口将含碳的气体导入该真空槽中；

在上述导向套筒经电抗器被施加上直流电压的同时，上述真空槽中产生等离子体，利用等离子体CVD法在上述导向套筒的上述内表面形成氢化非晶碳的硬质碳膜。

3.根据权利要求1或2所述的在导向套筒的内表面形成硬质碳膜的方法，其特征在于：

在将上述导向套筒放置于上述真空槽中之前，具有在导向套筒的上述内表面形成提高上述硬质碳膜的粘着性的中间层的过程；

利用上述等离子体CVD法形成硬质碳膜的过程中，在上述导向套筒内表面的上述中间层上形成上述的硬质碳膜。

4.根据权利要求1或2所述的在导向套筒的内表面形成硬质碳膜的方法，其特征在于：

在上述真空槽中放置有若干个上述导向套筒；

在上述各导向套筒的上述中心开口中分别插入辅助电极，并将各辅助电极接到地电位；

上述各导向套筒经同一个电抗器被施加上直流电压。

5.根据权利要求4所述的在导向套筒的内表面形成硬质碳膜的方法，其特征在于：

在将上述导向套筒放置于上述真空槽中之前，具有在导向套筒的上述内表面形成提高上述硬质碳膜的粘着性的中间层的过程；

利用上述等离子体CVD法形成硬质碳膜的过程中，在上述导向套筒内表面的上述中间层上形成上述的硬质碳膜。

6.根据权利要求1或2所述的在导向套筒的内表面形成硬质碳膜的方法，其特征在于：

在上述真空槽中放置有若干个上述导向套筒；

在上述各导向套筒的上述中心开口中分别插入辅助电极，并将各辅助电极接到地电位；

上述各导向套筒分别由各自的电源经各自的电抗器被施加上直流电压。

7.根据权利要求6所述的在导向套筒的内表面形成硬质碳膜的方法，其特征在于：

在将上述导向套筒放置于上述真空槽中之前，具有在导向套筒的上述内表面形成提高上述硬质碳膜的粘着性的中间层的过程；

利用上述等离子体CVD法形成硬质碳膜的过程中，在上述导向套筒内表面的上述中间层上形成上述的硬质碳膜。

8.根据权利要求1或2所述的在导向套筒的内表面形成硬质碳膜的方法，其特征在于：

在上述真空槽中放置有若干个上述导向套筒；

在上述各导向套筒的上述中心开口中分别插入辅助电极，并将各辅助电极接到地电位；

上述各导向套筒由同一个电源经各自的电抗器被施加上直流电压。

9.根据权利要求8所述的在导向套筒的内表面形成硬质碳膜的方法，其特征在于：

在将上述导向套筒放置于上述真空槽中之前，具有在导向套筒的上述内表面形成提高上述硬质碳膜的粘着性的中间层的过程；而在利用上述等离子体CVD法形成硬质碳膜的过程中，在上述导向套筒内表面的上述中间层上分别形成上述的硬质碳膜。