[发明专利]压电传感器和使用压电传感器的电泳油墨显示装置无效
| 申请号： | 00100405.0 | 申请日： | 2000-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN1262530A | 公开（公告）日： | 2000-08-09 |
| 发明（设计）人： | 长谷川和正;下田达也 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生股份株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;H01L27/20 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 方挺,余朦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在衬底11上按顺序层叠第一电极层12、第一压电薄膜层13、第二电极层14、第二压电薄膜层15和第三电极层16;限制这些层在厚度方向不扩大或缩小,构成压电传感器。形成多条栅极线201和202、多条数据线203和204和薄膜晶体管205和207;上述薄膜晶体管的一个源－漏与上述数据线连接,另一个源－漏与薄膜压电传感器208至210的输入侧连接上述薄膜压电传感器的输出侧与电泳油墨显示元件的电极连接;从而构成电泳油墨显示装置。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 传感器 使用 电泳 油墨 显示装置 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜压电传感器，包括在衬底上按第一电极层、第一压电薄膜层、第二电极层、第二压电薄膜层和第三电极层的顺序形成的上述各层，其中限制所述第一和第二压电薄膜层在厚度方向上不扩大或缩小。
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