[发明专利]在线宽度测量方法有效

专利信息
申请号: 00100573.1 申请日: 2000-01-26
公开(公告)号: CN1136431C 公开(公告)日: 2004-01-28
发明(设计)人: 卢治功;贾志国;黄海霞;职连杰;王书建;马胜利 申请(专利权)人: 信息产业部电子第27研究所
主分类号: G01B11/04 分类号: G01B11/04
代理公司: 信息产业部电子专利中心 代理人: 李直
地址: 450005*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 发明涉及一种在线测量方法,其关键技术在于通过双镜头成像测量目标像的四个沿位,进一步计算出被测目标边沿的两维坐标,由此可以计算出被测目标的宽度。同时运用主动光源技术,照射被测目标的两个边沿。采用此方法测量的宽度不受被测目标的摆动和倾斜影响,不受被测目标温度变化的影响,可以测量任意冷热状态的被测目标。标校设备时可以使用一冷目标进行测量标校。此外,由于此方案不受倾斜和摆动影响,将标校测量目标放入测量区域内能够迅速进行测量标校工作。
搜索关键词: 在线 宽度 测量方法
【主权项】:
1、一种在线测量方法,其特征在于通过双镜头成像测量目标像的四个沿位,进一步计算出被测目标边沿的两维坐标,由此计算出被测目标的宽度。
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