[发明专利]半导体器件无效
申请号: | 00101058.1 | 申请日: | 1994-12-02 |
公开(公告)号: | CN1156918C | 公开(公告)日: | 2004-07-07 |
发明(设计)人: | 大谷久;安达广树;宫永昭治;高山彻 | 申请(专利权)人: | 株式会社半导体能源研究所 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L27/12 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 杨丽琴 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种半导体器件,它包括:半导体层,它有至少第一杂质区、第二杂质区以及绝缘表面上的沟道形成区;栅极绝缘膜,它与半导体层相邻;栅电极,它与栅极绝缘膜相邻;第一绝缘膜,它形成于整个绝缘表面、半导体层、栅极绝缘膜和栅电极上面;第二绝缘膜,它包括一种有机树脂,并形成于第一绝缘膜上面;电极,它形成于第二绝缘膜上,并与第一杂质和第二杂质区中的一个杂质区相接;以及,象素电极,它形成于第二绝缘膜上面。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 | ||
【主权项】:
1.一种半导体器件,它包括:半导体层,它有至少第一杂质区、第二杂质区以及形成于绝缘表面上的沟道形成区,其中所述的半导体层包含催化剂元素,所述催化剂元素的浓度在1×1016-1×1019原子/厘米3之间;栅极绝缘膜,它与所述半导体层相邻;栅电极,它与所述栅极绝缘膜相邻;第一绝缘膜,它形成于所述绝缘表面、半导体层、栅极绝缘膜和栅电极的上方;第二绝缘膜,它包括一种有机树脂,并形成于第一绝缘膜上面;电极,它形成于第二绝缘膜上,并与第一杂质区和第二杂质区中的一个杂质区相接;以及,象素电极,它形成于第二绝缘膜上面。
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