[发明专利]生产工艺中将衬底移入和移出的系统及方法

摘要

一种生产工艺中的衬底移出、移入系统及方法，该系统包括：一自动传送装置，用于自动传送储存衬底的卡匣；一手动传送装置，及一加工设备。加工设备包括：用于临时放置运来的卡匣的货口，一装载器，其具有一传感器；及一作业台，当卡匣置于货口上时，加工设备检查传感器是否接收到通讯开始信号，当接收到上述信号时，卡匣是通过自动传送装置传送的，以便设定加工设备为自动传送模式，当没有接收到信号时，卡匣是通过手动传送装置传送的，从而设定为手动传送模式。

主权项

1.一种用于生产工艺中的衬底移入和移出系统，其特征是该系统包括：自动传送装置，用于自动传送存储有衬底的卡匣；手动传送装置，用于根据一作业人员的指令传送存储有衬底的卡匣；加工设备，用于对由所述自动传送装置或所述手动传送装置所传送的、存储于卡匣中的衬底进行预定的加工；其中，当卡匣到达时，上述加工设备判断卡匣是通过自动传送装置传送的还是通过手动传送装置传送的。