[发明专利]喷墨头的微流道及微喷嘴的制造方法有效
| 申请号： | 00103591.6 | 申请日： | 2000-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN1133543C | 公开（公告）日： | 2004-01-07 |
| 发明（设计）人： | 祝煜伦;史望平 | 申请（专利权）人： | 微邦科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/16 | 分类号： | B41J2/16 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘朝华 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种喷墨头的微流道及微喷嘴的制造方法，包括如下步骤通过紫外线光源产生波长范围100-400nm的紫外线镭射光束；将紫外线光束射入光调制模组内，使紫外线镭射光束的能量大小和分布达到所需要的紫外线镭射光束；将适当形状的显微影像通过投影透镜组将其投影至被加工物上，进行精密干蚀刻；蚀刻出具所需微流道及微喷嘴的产品，显微影像包括“+”字型或其他所需形状图样。具有低成本、高优良品率、高精度、高效率及无污染等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 喷墨 微流道 喷嘴 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种喷墨头的微流道及微喷嘴的制造方法，它包括如下步骤：通过紫外线光源产生波长范围100-400nm的紫外线镭射光束；将紫外线光束射入位于紫外线光源一端的光调制模组内，调整紫外线镭射光束的能量大小和分布达到所需要的紫外线镭射光束，形成所需的适当形状的显微影像；将适当形状的显微影像通过投影透镜组将其投影至位于该投影透镜组一端的被加工物上，进行精密干蚀刻，蚀刻出具所需微流道及微喷嘴的产品，其特征在于：该显微影像包括“+”字型。
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