[发明专利]具有等边三角形微光学谐振腔的光电器件无效
| 申请号： | 00105875.4 | 申请日： | 2000-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN1124671C | 公开（公告）日： | 2003-10-15 |
| 发明（设计）人： | 黄永箴 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01S5/10 | 分类号： | H01S5/10;G02B6/10;H01L33/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 1000*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种具有等边三角形微光学谐振腔的光电器件，其是具有输出或输入波导的由一个或两个等边三角形构成的三角形谐振腔或菱形谐振腔的光电器件，结构包括由下限制层，有源区和上限制层构成的平板波导，等边三角形、菱形谐振腔外部区域腐蚀到下限制层或衬底，而未腐蚀的等边三角形区域作为谐振腔，三角形边作为反射镜面，而且在三角形的边与波导相连接或耦合；从而制作成半导体激光器，多波长选择波导光探测器。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 等边三角形 微光 谐振腔 光电 器件 | ||
【主权项】：
1、一种具有等边三角形微光学谐振腔的光电器件，其是具有输出或输入波导的由一个或两个等边三角形构成的三角形谐振腔或菱形谐振腔的光电器件，结构包括由下限制层，有源区和上限制层构成的平板波导，其特征在于：等边三角形、菱形谐振腔外部区域腐蚀到下限制层或衬底，而未腐蚀的等边三角形区域作为谐振腔，三角形边作为反射镜面，而且在三角形的边与波导相连接或耦合。
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