[发明专利]有机微光机械振动/加速度传感结构及其制备方法无效
| 申请号： | 00106325.1 | 申请日： | 2000-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN1118691C | 公开（公告）日： | 2003-08-20 |
| 发明（设计）人： | 高福斌;张平;刑汝冰;金锋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00;G01P15/00 |
| 代理公司： | 长春科宇专利代理有限责任公司 | 代理人： | 梁爱荣 |
| 地址： | 130022 *** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明属于硅基集成有机微光机械振动/加速度传感结构及其有机微光机械传感结构的制备方法。由单通道输入波导、多模干涉耦合器、双通道输出波导和微机械振动悬臂梁组成，采用有机光学材料制备微光机械结构的方法使得制备工艺简单、成本降低，实用。采用有机光学材料的可选择范围比无机光学材料大并可以进行分子结构合成改性，满足优化设计需要，采用有机光学材料制备悬臂梁，其弹性系数等力学参数可在很宽范围内调整，能提高器件的灵敏度和动态范围。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 微光 机械振动 加速度 传感 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种用于振动/加速度传感器的硅基集成有机微光机械传感结构，由单通道输入波导(4)、多模干涉耦合器(5)、双通道输出波导(6)和微机械振动悬臂梁(7)所构成，其特征在于：单通道输入波导(4)、多模干涉耦合器(5)、双通道输出波导(6)和微机械振动悬臂梁(7)均由有机光学厚膜衬底(9)、有机光波导芯层(10)、有机光学厚膜包覆层(11)组成，单通道输入波导(4)集成于微机械振动悬臂梁(7)之上，其输出端与多模干涉耦合器(5)输入端相对，多模干涉耦合器(5)位于单通道输入波导(4)的输出端位置，其输入端与单通道输入波导(4)的输出端相对，输出端与双通道输出波导(6)输入端连接，有机光波导芯层(10)附着于有机光学厚膜衬底(9)之上，有机光学厚膜包覆层(11)包覆于有机光波导芯层(10)和有机光学厚膜衬底(9)之上，整个有机微光机械传感结构(1)附着于硅基片(8)上，微机械振动悬臂梁(7)的一端与有机膜层连接，另一端自由悬空。
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