[发明专利]高激光吸收的铜熔丝及其制造方法有效
| 申请号： | 00106706.0 | 申请日： | 2000-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN1272694A | 公开（公告）日： | 2000-11-08 |
| 发明（设计）人： | T·H·多布斯佩克;W·T·穆特斯夫 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | H01L23/525 | 分类号： | H01L23/525;H01L21/82 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 梁永,王忠忠 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种高激光吸收的铜熔丝可以使消掉导体的熔丝部分所需要的激光能量最少。该类熔丝结构允许形成能够用相当小的入射能量消除的铜熔丝。金属布线含有一种熔丝连线段,其中该熔丝连线段由至少两种金属的叠层构成。叠层金属的底层材料是导电铜导体,盖层金属是钨或钛－钨复合材料,其厚度和光特性选择为使盖层金属与底层金属的结合提供对入射红外能量的高吸收特性。公开了在整个熔丝连线上或在选择部分的熔丝连线上提供盖层材料的制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 吸收 铜熔丝 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种具有会因辐射而显著改变给定导电特性的导体，包括具有基本上对所说辐射不敏感的第一材料的第一层和对辐射敏感的第二材料的第二层的导电体。
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