[发明专利]含有四氢呋喃甲基氧羰基官能基的可聚合烯类化合物及含其的光阻剂无效
| 申请号： | 00107802.X | 申请日： | 2000-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN1129035C | 公开（公告）日： | 2003-11-26 |
| 发明（设计）人： | 余庆仁;卜诗尧;谢育材 | 申请（专利权）人： | 长兴化学工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘朝华 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种含有四氢呋喃甲基氧羰基官能基的可聚合烯类化合物及含其的光阻剂。该化合物可与其它化合物反应成为树脂。此树脂可做为辐射敏感性组合物光阻剂的主要成分。该其它化合物是选自丙烯酸系化合物、不饱和酸酐类化合物或环烯系化合物。本发明的化合物具有提升树脂对基板的吸着力及强化树脂抗蚀刻的能力，使此辐射敏感性组合物具有高分辨率及良好对比，且能够在碱性水溶液显影等性质，适用于图样转换，可用于半导体及光电微刻制程。 | ||
| 搜索关键词： | 含有 呋喃 甲基 羰基 官能 聚合 化合物 光阻剂 | ||
【主权项】：
1、一种含有四氢呋喃甲基氧羰基官能基的可聚合烯类化合物，其特征是：它能够与其它化合物反应共聚合成为共聚树脂；该共聚树脂做为辐射敏感性组合物光阻剂的主要成分；该其它化合物是选自丙烯酸系化合物、不饱和酸酐类化合物或环烯系化合物。
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