[发明专利]电子束照射装置无效
| 申请号： | 00109026.7 | 申请日： | 2000-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN1276264A | 公开（公告）日： | 2000-12-13 |
| 发明（设计）人： | 梶山雅章 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B01J19/08 | 分类号： | B01J19/08 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 黄剑锋,楼民发 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能以更高的冷却效率有效地冷却电子取出用窗箔及窗箔安装凸缘的电子束照射装置。其在电子束的加速管2或扫描管3的端部,借助安装凸缘4安装用于将电子束取出到大气侧的窗箔。其中在安装凸缘4上,设置着安装凸缘4的内周面上形成的环状沟与闭塞该环状沟10的开口端的盖体11构成的冷却介质通路13。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 照射 装置 | ||
【主权项】：
1.一种电子束照射装置，在电子束的加速管或扫描管的端部上，借助安装凸缘安装着用于将电子束取出到大气侧的窗箔，其特征是，在前述安装凸缘上，设有冷却介质通路，它是由安装凸缘的内周面上形成的环状沟与闭塞该环状沟的开口端的盖体构成的。
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