[发明专利]用分解碳源气的金属催化层低温合成碳纳米管无效

专利信息
申请号: 00109211.1 申请日: 2000-06-14
公开(公告)号: CN1277147A 公开(公告)日: 2000-12-20
发明(设计)人: 李铁真;柳在银 申请(专利权)人: 李铁真;株式会社日进纳米技术
主分类号: C01B31/02 分类号: C01B31/02
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 代理人: 甘玲
地址: 韩国全*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种利用金属催化层低温合成碳纳米管的方法。在该合成方法中,在基片上形成金属催化层。该金属催化层被腐蚀形成隔离的纳米级催化金属颗粒。然后,通过在等于或低于基片变形温度的温度下用分解碳源气的金属催化层分解碳源气,经热化学汽相淀积,由每个隔离的纳米级催化金属颗粒在基片上生长垂直排列的碳纳米管。
搜索关键词: 分解 碳源 金属 催化 低温 合成 纳米
【主权项】:
1.一种合成碳纳米管的方法,包括:在基片上形成金属催化层;腐蚀金属催化层,形成隔离的纳米级催化金属颗粒;以及通过在等于或低于基片变形温度的温度下用分解碳源气的金属催化层分解碳源气,经热化学汽相淀积,由每个隔离的纳米级催化金属颗粒在基片上生长垂直排列的碳纳米管。
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