[发明专利]低温热化学汽相淀积设备及利用该设备合成碳纳米管的方法

摘要

一种低温热CVD设备和利用设备合成碳纳米管的方法,是将该设备中的反应管分成在空间上邻接气体输入部分、用于热分解输入气体的第一区,和空间上邻接排气部分、用于利用前述的分解气体合成碳纳米管第二区,并且,保持两区的温度,使第二区的温度低于第一区的温度。将具有第一金属催化膜的第一基片用腐蚀气腐蚀,形成纳米级催化颗粒,利用上述设备热分解碳源气,在其温度低于第一区的第二区中,从催化颗粒上合成碳纳米管。

主权项

1.一种热化学汽相淀积(CVD)设备，包括：具有气体输入部分和排气部分的反应管，该反应管被分成第一区和第二区，第一区在空间上邻接气体输入部分，用于热分解经气体输入部分进入的气体，第二区空间上邻接排气部分，用于利用在第一区中分解的气体合成碳纳米管；围绕反应管安装的第一电阻加热器，用于保持第一区的温度为第一温度；围绕反应管安装的第二电阻加热器，用于保持第二区的温度为低于第一温度的第二温度；设于第一和第二电阻加热器间用于隔开它们的隔离件。